化学分子

AMC监控系统的重要性

虽然没有任何环境可以保证100％无污染，但AirSentry AMC监控系统可以帮助您在发生代价高昂的受损之前识别污染。
AMC监控系统的优点包括：

• 多种配置选项，用于连续或移动监控
• 全面可靠的数据生成和趋势分析
• 长期性的数据趋势和结果
• 低成本的测试和采样点
• 可检测最终用户指定的多种化合物
• 在发生代价高昂的受损之前确定AMC问题和来源
• 描述机载分子（AMC）污染水平

AirSentry机载分子污染监测的应用

AMC监控对包括半导体，光子学和光学以及航空航天在内的各类行业都有效。具有多种配置选项：

• 排除并识别AMC的来源
• 隔离并验证污染事件
• 有效监测微环境和处理工具
• 测试并验证化学过滤性能
• 监控多点洁净室和工艺间
• 在新的洁净室中定义基线并确定AMC级别
• 分析和量化化学过滤器效率
• 描述补充和循环空气中的AMC污染
• 在蚀刻处理中实时监控腐蚀
• 监测光刻系统中的胺和氨
• 量化化学过滤效率
• 在整个洁净室和工艺工具中跟踪和排除AMC源
• 在FOUP晶圆存储模块中分析AMC

了解有关AMC监控的更多信息

阅读行业专家撰写的关于AMC监测的文章，以找到适合您应用的解决方案：

• 移动监测系统加速分子污染源的检测，定位和故障排除
• 优化光刻分子污染监测
• 确保洁净制造环境中的污染控制

作为值得信赖的行业专家，我们可以帮助您提高产量并防止产品污染，为您提供空气和液体粒子监测以及分子污染监测。我们的全球专家团队可为您的应用提供解决方案。