灵敏度: S02: 0.2 - 2.0 µm, S03: 0.3 - 3.0 µm, S05: 0.5 - 20.0 µm

LiQuilaz® II 液体粒子计数S系列

LiQuilaz® II 系列液体粒子计数器是体积式粒子计数器,有不同的灵敏度,高灵敏度的粒子计数器可监测小至0.2um的粒子。她们为大多数工艺化学品提供高精密分析,例如氢氟酸和高达306°F (150 °C)的热腐蚀剂。

LiQuilaz II 粒子计数器的测量结果具有准确性、可靠性和重复性,深受客户信任。 LiQuilaz II 粒子计数器具有RS-485和以太网网络通信功能,新功能提高了监测的灵活性,而且使安装变得更加简单。

体积式粒子计数器通过监测100%采样体积(多达80 毫升/分)提供高精确度的结果,所以短时间采样的数据结果也具有统计意义。

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特点

  • 特点
  • 0.3 -3.0μm大小区间
  • 流量是80 ± 10% 毫升/分钟
  • 和广泛工艺化学品相兼容
  • 体积小巧,可以轻松安装在制程的任何位置
  • 用户可选择的粒径值

优点

  • 产量改进
  • 实时表征和分析粒子污染,对粒子污染的反应速度快
  • 全量监测,具有更高的监测精确度,适用于更严格的制程控制
  • 可选购的软件具有报警设置、状态显示、采样设置、在线支持等功能,便于制程控制
  • 支持广泛的应用和流体
  • 配合压缩或是注射采样器使用
  • 和不同管道标准兼容
  • 嵌入、批次采样能力
  • RS-485网络兼容
  • 操作简易
  • 体积小巧,可以轻松安装在制程的任何位置
  • 灵活的软件为实时或检索数据提供了许多可见的选择
  • 用户可选择的粒子大小范围

应用

  • 使用压缩采样进行冒泡的化学品测量
  • 化学质量保证
  • 工艺槽监测
  • 去离子水监测
  • 化学品传输系统
  • 光刻胶监测

可用的配件

Facility Net软件

Facility Net软件

Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案,包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器,以及各种第三方产品。

液体安装套件

液体安装套件

与在线应用一起使用,液体安装套件包括一个 Flaretek®扩口工具,25英尺又1/4英寸氟烷氧基烷烃管子和阳螺纹接头

毛细管清洁套件

毛细管清洁套件

毛细管清洁套件和Flaretek®适配器冲洗微细管并且包含:两个10cc注射器以及两个Flaretek®管子配件

通信配件

通信配件

LiQuilaz粒子计数器通过RS-485协议进行通信,所以需要通信配件。根据配置,你可能需要2个电缆和一个 BB485转换器。如果 LiQuilaz设备是菊链式(比如:串联连接),一个九针串行电缆可以连接2个设备。如果电脑没有一个九针串行端口,也需要一个USB串口转换器

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