灵敏度: 20 - 100 nm

Chem 20 化学式粒子计数器

尖端的微电子工艺需要非常洁净的工艺化学品,该粒子计数器需要经过高度过滤,适用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化学式粒子计数器具有20 nm的粒子灵敏度,是目前灵敏度最高的高纯度工艺化学品粒子传感器

来自化学品输送和包装系统的广泛数据证明,与其竞争产品相比,具有20nm灵敏度的PMS Chem 20传感器统计出的颗粒浓度较大,数据具有统计意义。 Chem 20化学颗粒计数器是非常有用的工具,在化学颗粒源影响工艺和设备性能之前,它使设备和工艺工程师能够快速检测并描述化学颗粒源。

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性质

  • 先进的激光光学和检测器使检测化学物质的灵敏度达到20 nm
  • 车载化学流量计用于设定样品流量
  • 第一个能针对低和高折射率化学品进行优化的颗粒计数器,以提高产品性能:
    Chem 20传感器,用于具有较低折射率的化学品
    Chem 20-HI传感器,适用于硫酸和其他高指数化学品
  • 内部泄漏检测会在内部化学品泄漏时提供报警
  • 低流量检测器和报警器,以确保数据一致
  • 宏观气泡探测器用于保护传感器性能
  • 本地数据显示

优点

  • 实时检测20 nm PSL和9 nm Au微粒
  • 检测影响良率的粒子(竞争技术无法达到)
  • 在扫描表面或得到数据之前,快速响应粒子偏移
  • 优化化学品输送系统,覆盖从装卸码头到加工点的整个过程
  • 改善样本的数据统计,加强过程工艺控制
  • 针对不同洁净度的产品,使用两种视图模式优化仪器操作,拓展产品应用空间
  • 传统数据采集系统能够灵活通信

应用

  • 化学输送系统内的实时粒子监测
  • 流程监控点
  • 化学包装操作监控
  • 化学过滤器性能和效率描述
  • 化学处理部件的性能测试

帮助材料

常见问题解答

可用的配件

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Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案,包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器,以及各种第三方产品。

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