液体粒子计数器:LiQuilaz® II S系列

灵敏度范围:0.2 – 20 µm

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产品细节

  • 颗粒范围0.2 – 20.0 μm
  • 流速高达80毫升/分钟
  • 与多种工艺化学品兼容
  • 占地面积小,便于放置在工艺中的任何位置
  • 用户可选择粒度阈值

S02: 0.2 – 2.0 µm, S03: 0.3 – 3.0 µm, S05: 0.5 – 20.0 µm

  • 在线和批量采样能力
  • 利用压缩取样进行泡腾化学测量
  • 化学质量保证
  • 工艺浴监测
  • 去离子水监控
  • 化学品输送系统
  • 光阻监测
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