Chem 20™ 化学式粒子计数器
尖端的微电子工艺需要非常洁净的工艺化学品,该粒子计数器需要经过高度过滤,适用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化学式粒子计数器具有20 nm的粒子灵敏度,是目前灵敏度最高的高纯度工艺化学品粒子传感器。
来自化学品输送和包装系统的广泛数据证明,与其竞争产品相比,具有20nm灵敏度的PMS Chem 20传感器统计出的颗粒浓度较大,数据具有统计意义。 Chem 20化学颗粒计数器是非常有用的工具,在化学颗粒源影响工艺和设备性能之前,它使设备和工艺工程师能够快速检测并描述化学颗粒源。