HPGP-101-C高压气体探头
高技术生产工艺通常要求高纯度气体。HPGP-101-C高压气体探头为在线压力下的工艺气体提供可靠的在线污染监测。HPGP-101-C高压气体探头和氧气、氢气以及大多数无害气体相匹配,它可以应用于多种活性气体监测。HPGP-101-C高压气体探头会在影响产量之前,加快工艺气体分配系统的资格确认,监测气体中的粒子。HPGP与粒子数据系统、以太网(pds-e)配对,收集并报告由探测器捕获的数据。
灵敏度: 0.1 - 5.0 µm
高技术生产工艺通常要求高纯度气体。HPGP-101-C高压气体探头为在线压力下的工艺气体提供可靠的在线污染监测。HPGP-101-C高压气体探头和氧气、氢气以及大多数无害气体相匹配,它可以应用于多种活性气体监测。HPGP-101-C高压气体探头会在影响产量之前,加快工艺气体分配系统的资格确认,监测气体中的粒子。HPGP与粒子数据系统、以太网(pds-e)配对,收集并报告由探测器捕获的数据。
PDS-E的框架安装符合一个标准的19英寸的架子。注意任何安装架必须考虑到设备后方的风扇的气流
Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案,包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器,以及各种第三方产品。
微处理器基本数据系统。PDS-E可以安装一个探头,包含一个壁装盒、 RS-232设置电缆以及 FacilityNet软件。传感器不包括在内。
上海思百吉仪器系统有限公司
上海市田州路99号13号楼102单元, 200233
T. 86-21-61133630 (华南/华东)
T. 86-21-61133654(华北/西南)
F. 86-21-61251313
E. [email protected]
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