HPGP-101-C高压气体探头
高技术生产工艺通常要求高纯度气体。HPGP-101-C高压气体探头为在线压力下的工艺气体提供可靠的在线污染监测。HPGP-101-C高压气体探头和氧气、氢气以及大多数无害气体相匹配，它可以应用于多种活性气体监测。HPGP-101-C高压气体探头会在影响产量之前，加快工艺气体分配系统的资格确认，监测气体中的粒子。HPGP与粒子数据系统、以太网(pds-e)配对，收集并报告由探测器捕获的数据。
特点
- 安全保护壳
- 氧气与氢气兼容性
- 0.1SCFM下，灵敏度为0.1μm
- 8个粒子通道
- 管道压力从40到150psig
- 被动式激光源
- 并行处理阵列检测器系统
优点
- 核实粒子质量
- 检测工艺异常
- 量化系统更改的影响
- 提供精确粒径
- 使用 Facility Net软件来进行全面的数据存储、管理、报告和警报
- 被动式激光源设计只需极少的维护
- 净化的惰性气体确保安全
- 样本气体一旦泄漏，容器立刻终止电源
应用
- 气体分布系统的资格确认
- 工艺气体监测
- 活性气体监测
可用的配件
框架安装（PDS-E）
PDS-E的框架安装符合一个标准的19英寸的架子。注意任何安装架必须考虑到设备后方的风扇的气流
Facility Net软件
Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案，包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器，以及各种第三方产品。
粒子数据系统（PDS-E
微处理器基本数据系统。PDS-E可以安装一个探头，包含一个壁装盒、 RS-232设置电缆以及 FacilityNet软件。传感器不包括在内。
