灵敏度: 0.1 - 5.0 µm

HPGP-101-C高压气体探头

高技术生产工艺通常要求高纯度气体。HPGP-101-C高压气体探头为在线压力下的工艺气体提供可靠的在线污染监测。HPGP-101-C高压气体探头和氧气、氢气以及大多数无害气体相匹配,它可以应用于多种活性气体监测。HPGP-101-C高压气体探头会在影响产量之前,加快工艺气体分配系统的资格确认,监测气体中的粒子。HPGP与粒子数据系统、以太网(pds-e)配对,收集并报告由探测器捕获的数据。

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特点

  • 安全保护壳
  • 氧气与氢气兼容性
  •  0.1SCFM下,灵敏度为0.1μm
  • 8个粒子通道
  • 管道压力从40到150psig
  • 被动式激光源
  • 并行处理阵列检测器系统

优点

  • 核实粒子质量
  • 检测工艺异常
  • 量化系统更改的影响
  • 提供精确粒径
  • 使用 Facility Net软件来进行全面的数据存储、管理、报告和警报
  • 被动式激光源设计只需极少的维护
  • 净化的惰性气体确保安全
  • 样本气体一旦泄漏,容器立刻终止电源

应用

  • 气体分布系统的资格确认
  • 工艺气体监测
  • 活性气体监测

帮助材料

常见问题解答

可用的配件

框架安装(PDS-E)

框架安装(PDS-E)

PDS-E的框架安装符合一个标准的19英寸的架子。注意任何安装架必须考虑到设备后方的风扇的气流

Facility Net软件

Facility Net软件

Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案,包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器,以及各种第三方产品。

粒子数据系统(PDS-E)

粒子数据系统(PDS-E)

微处理器基本数据系统。PDS-E可以安装一个探头,包含一个壁装盒、 RS-232设置电缆以及 FacilityNet软件。传感器不包括在内。

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