统计分析:通过液体传播的粒子

摘要

统计分析:以液体传播的粒子

综述了统计量和使用液体粒子计数器的影响。液体粒子计数器所使用的统计技术是众所周知的,而且相对简单,但是在文献中还没有充分探讨样品体积和大小灵敏度对液体粒子数据的影响。样本量和灵敏度都影响单位时间内计数的粒子总数,当计数的粒子数越多,数据的统计变化就越小。

对于给定的样品体积,通过粒子计数器的灵敏度可以计数更小的粒子,以计数更多数量的粒子。此外,几乎总会出现小颗粒浓度大于大颗粒浓度的情况。特定液体系统的粒度分布将决定为灵敏度而优化的仪器是否比为样品体积而优化的仪器产生更多的信息。本文将审查若干液体系统的粒度分布,并讨论哪个颗粒计数器将产生最多信息。

此外,本文还将回顾限定半导体工厂的散装化学品输送系统使用的多种统计方法,以及使用不同的颗粒计数器来限定系统到特定颗粒浓度带来的影响。

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