NanoVision Technology®高分子散射

摘要

NanoVision Technology Enables High Molecule Scatter

半导体制造利用的是超纯化学物质,这些化学物质通常具有显著的分子散射。这种高分子散射降低了老式粒子计量技术的信噪比效率,在某些情况下阻碍了它在要求更高的化学反应中的应用。在生产中,需要一种适应性的计量解决方案来有效地描述广泛的化学反应和使用的解决方案。NanoVision 技术,应用于到UltraChem系列产品中,包括消除了监测中分子散射变化的自参考校正。

UltraChem产品有在线和独立的采样器配置,以在连续供应和多点测量时提供灵活的计量解决方案。改进了数据质量和重复性,提供在整个半导体生产过程中,最精确地工艺化学品质量的测量方法。

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