在超净生产环境中的纳米粒子监测

摘要

NP Monitoring in Ultra-Clean Mfg Environments

在超净生产环境中的纳米粒子监测有10 nm的灵敏度,Nano-ID®NPC10纳米颗粒计数器缩小了传统气溶胶光学粒子计数在0.1μm(100 nm)与sub-nm规模空气分子污染之间的差距。

实验和现场数据表明,ISO等级1和2的环境中,粒子浓度非常低,大于100 nm,可以产生更高浓度的纳米粒子。这表明,目前的ISO分类系统可能不足以恰当地描述高级电子产品制造所需的高纯度环境的洁净度。

本文介绍了Nano-ID NPC10 纳米粒子计数器和传统的光学粒子计数器在ISO 1-4级环境下的比较数据,粒子浓度水平测试所面临的挑战,以及对两个Nano-ID NPC10纳米粒子计数器的分析比较。

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