对工艺化学品的粒子监测

摘要

Monitoring Particles in Process Chemicals

对工艺化学品的粒子监测水平已被证明会直接影响产品质量。在洁净室环境中持续减少粒子大小和粒子数量的必要性已经得到充分证实。由美国半导体工业协会(SIA)赞助的国际半导体技术路线图(ITRS)规定,为了满足未来的发电技术节点,需要持续降低气体、水、化学品和空气中的粒子水平。能够准确测量这些污染物是执行全面的粒子控制计划的第一步。

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