移动监控系统快速检测、定位和排除分子污染源

摘要

减少检测时间,保持和减轻尘埃污染(AMC)至非常低的水平对高科技制造商来说正变得越来越重要。 通过对AMC导致的质量问题和产量损失相关的成本的了解,AMC的适当减少对于清洁制造商保持竞争力是至关重要的。 技术人员需要这种灵活性,可以在洁净的环境中高效地收集具有良好的时间-空间分辨率的AMC数据,以支持样本计划,并在故障排除事件期间收集站点特定的数据以汇聚到AMC-报警源。 这些是开发移动AMC检测系统的驱动因素,可以快速部署到特定的净室位置,以建立AMC浓度的实时反馈图。

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