MOCVD手套箱实时粒子监测

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摘要

金属有机物化学气象沉积(Metal Organic Chemical Vapour Phase Deposition),简称MOCVD,是一种复杂的多层薄层结构制备工艺,被广泛的应用于制造发光二极管,功率电子器件,激光部件,晶体管, 太阳能电池和其他光电器件的制造。随着器件物理尺寸和制造工艺的演进,制造工艺开始关注监测和消除一些杂质,比如空气中的粒子,粒子数量的多少会对器件的质量和良率产生影响。

因此安装实时粒子监测系统能够提供数据分析来帮助MOCVD用户做出恰当的决策,比如何时加载晶圆,何时维护设备,从而提高和改善MOCVD过程控制。

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