液晶面板制造工艺颗粒污染物监测系统设计与实践

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摘要

在液晶面板制造过程中,产品会长时间暴露在空气中。如果空气中存在颗粒污染物,掉落在产品上的颗粒会使产品电路发生短路或断路现象,而造成产品产品破坏。一般的液晶面板生产环境都是经过颗粒过滤和处理的洁净室(亦称无尘室)中进行的,但依然不能完全避免颗粒污染物的存在,因此构建实时的颗粒污染物监测系统就非常重要,一个设计和运行良好的颗粒监测系统可以有效的降低生产的损失,提高良率。

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