影响液体中微气泡的因素

概论

影响液体中微气泡的因素

在半导体制造行业,微气泡(气泡小于直径10 µm)能变成减少制造产量的污染物。例如,如果光刻胶中的微气泡被分散到晶圆片上,它们会导致微电路缺陷从而导致过早失效。文本讨论的是影响液体中微气泡的因素以及如何利用光粒子计数器从硬颗粒中区分微气泡。将常用的光阻材料溶剂和二醇甲醚醋酸酯在水中呈现的实验结果,与理论知识进行比较。

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