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Als Teil unserer Komplettlösungen zur Überwachung einer reinen Umgebung (Produkte und Dienstleistungen) bietet Ihnen Particle Measuring Systems (PMS) AMC-Lösungen für die Überwachung luftgetragener molekularer Verunreinigungen, (Airborne Molecular Contamination) mit drei Optionen: Mobil, Mehrpunkt und Point-of-Use.

Bei hochtechnisierten Fertigungsprozessen in Reinstraumumgebungen kann eine luftgetragene molekulare Verunreinigung (AMC) teure Schäden verursachen. Unsere AMC-Monitore erkennen Säuren, Amine, Ammoniak und Chloride und helfen Ihnen dabei, Probleme und deren Position schnell zu erkennen, bevor Ihr Produkt verunreinigt wird.

Vorteile unserer AMC-Monitoringsysteme

Obwohl keine Umgebung ständig zu 100 % frei von Verunreinigungen ist, können Sie eine Kontamination erkennen, bevor eine kostspielige Beeinträchtigung eintritt. Verlassen Sie sich dazu einfach auf unsere AirSentry AMC-Monitoringsysteme!
Einige der Vorteile unserer verschiedenen Konfigurationen umfassen:

  • Vielseitige Konfigurationsoptionen für kontinuierliche oder mobile Überwachung
  • Gründliche und zuverlässige Datengenerierung und Datentrends
  • Langfristige Datentrends und Ergebnisse
  • Niedrige Kosten pro Test und Kosten pro Probenpunkt
  • Nachweis mehrerer AMC-Verbindungen gemäß vom Endbenutzer definierter Vorgaben
  • Erkennung von AMC-Problemen und -Quellen, bevor kostspielige Schäden entstehen
  • Charakterisierung der Werte der luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (AMC)

AirSentry Monitoringanwendungen für luftgetragene molekulare Verunreinigungen

Das AMC-Monitoring ist für eine Vielzahl von Branchen geeignet, darunter Halbleiterindustrie, Photonik und Optik sowie Luft- und Raumfahrt. Aufgrund der Vielzahl von Konfigurationsoptionen für die kontinuierliche ferngesteuerte oder mobile Überwachung können unsere AirSentry AMC-Monitore in folgenden Bereichen eingesetzt werden:

  • Fehlerbehebung und Erkennen von AMC-Quellen
  • Isolierung und Verifizierung von Kontaminationsepisoden
  • Effektive Überwachung von Kleinstumgebungen und Prozessinstrumenten
  • Prüfung und Validierung der chemischen Filtrationsleistung
  • Überwachung von Mehrpunkt-Reinräumen und Prozessbereichen
  • Definition von Grundlinien und Qualifizierung von AMC-Niveaus in neuen Reinräumen
  • Analyse und Quantifizierung der chemischen Filtrationseffizienz
  • Charakterisierung des AMC-Beitrags von Make-up und Umluft
  • Überwachung der Korrosion in Ätzprozessen in Echtzeit
  • Überwachung von Aminen und Ammoniak in Lithografiesystemen
  • Quantifizierung der chemischen Filtrationseffizienz
  • Ursachenverfolgung von AMC-Quellen und Fehlerbehebung in allen Reinräumen, für alle Prozessinstrumente

Weitere Informationen zum AMC-Monitoring

Lesen Sie einige unserer Beiträge von führenden Branchenexperten zum Thema AMC-Monitoring, um Lösungen für Ihre Anwendung zu finden:

Als vertrauenswürdige Branchenexperten helfen wir unseren Partnern, ihren Ertrag zu verbessern und Produktverunreinigungen zu vermeiden. PMS bietet Überwachung von Luft- und Flüssigkeitspartikeln sowie Überwachung von molekularen Verunreinigungen. Unser Team mit globalen Experten steht Ihnen mit Lösungen für Ihre Anwendung zur Seite.

Kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.

AirSentry® II Mehrpunkt-Monitoringsystem

Das AirSentry II Mehrpunkt-Monitoringsystem ist der fortschrittlichste derzeit verfügbare Monitor für luftgetragene molekulare Verunreinigung („airborne molecular contamination“, AMC). Für den AMC-Nachweis und die Charakterisierung der Kontaminationsmerkmale an mehreren Standorten innerhalb eines Reinraums arbeitet er mit hochempfindlicher und reaktionsschneller Ionen-Mobilitäts-Spektrometrie. Das System ist mit einem 16- oder 30-Punkt-Probenahme-Verteilersystem und einem integrierten Computer mit sicherer Software und Datenübertragung ausgestattet.

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AirSentry® II Point-of-Use Ion Mobility Spectrometer

With parts-per-trillion (ppt) sensitivity, these point-of-use sensors provide fast response, increased detection selectivity and repeatable performance. Combining Air Sentry II sensors with a central software platform allows for easy data acquisition and analysis. The AirSentry II family of airborne molecular contamination sensors provide continuous actionable data, to enable efficient response to contamination sources and events.

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