Halbleiter / Mikroelektronik

Durch ein kontinuierliches Überwachen, wann und wo Produkte gefährdet sind, stellen wir die anwendungstechnische Fachkompetenz und die benötigten Hochleistungsprodukte bereit, damit Sie Produktivitätsverluste minimieren können.

PMS ist das erste und einzige Unternehmen, welches Sie zuverlässig versorgt mit einer Partikelmessempfindlichkeit bis zu

20 nm in Chemikalien
20 nm in UPW / DI Wasser
10 nm für Luft

Nachfolgend finden Sie einige von unseren Experten geschriebene wissenschaftliche Artikel zu diesem Themenbereich sowie Produkte für Ihre Anwendung.

Fachwissen/Dokumentation

Überblick über die Überarbeitungen von ISO 14644
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Gepostet: Januar 13, 2016
NanoVision Technology® ermöglicht Messungen bei hoher Molekülstreuung
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Gepostet: August 4, 2015
Understanding ISO 21501-4 (LS)
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Gepostet: März 29, 2016

Produkte

Chem 20™ Partikelzähler
Der Chem 20TM Partikelzähler – der empfindlichste Partikelsensor für hochreine Prozeßchemikalien der Welt
Surfex® Oberflächenreinheits-Prüfstation
Ein vollständig integrierter Ultraschallbehälter, der Partikelwerte auf nahezu jedem komplex geformten Teil misst.
AirSentry® II Mobiles AMC-Nachweissystem
Das mobile AirSentry II AMC-Nachweissystem als Erweiterung für ortsfeste AMC-Monitoring-Programme ist das erste wirklich mobil einsetzbare System für…
Nano-ID® NPC10 Nanopartikelzähler
Liefert schnell aussagekräftige Daten in ultra-reinen Umgebungen durch das Erfassen auch der kleinsten ultrafeinen Staub- und Nanopartikel.
Ultra DI® 20 Partikelzähler für Flüssigkeiten
Speziell für Reinstwassersysteme entwickelt, ermittelt er rasch statistisch aussagekräftige Daten und führt Zählungen und Größenbestimmungen auch von sehr kleinen Kontaminanten bis 20 nm durch.
Lasair®III Aerosol-Partikelzähler
Setzt Maßstäbe für mobile Aerosol-Partikelzähler und erfüllt die Anforderungen von ISO 14644-1:2015 und ISO 21501-4.
Lasair® III 110 Aerosol-Partikelzähler
Ein 0,100-μm-Partikelzähler, der Echtzeitmessungen von Partikeln, die die Produktivität negativ beeinflussen, in drei Konfigurationen ermöglicht.
AirNet® II und IIs 2-Kanal Partikelsensor
Erfüllt die Spezifikationen von ISO 21501-4 für die Messung von Größe und Anzahl der in der Luft schwebenden Partikel für das Echtzeit-Monitoring von fehlerverursachenden Partikeln.
AirNet® II 4-Kanal Partikelsensor
Erfüllt die Spezifikationen von ISO 21501-4 für die Messung von Größe und Anzahl der in der Luft schwebenden Partikel für das Echtzeit-Monitoring von fehlerverursachenden Partikeln.
IsoAir® 310P Aerosol-Partikelsensor
Echtzeit-Partikelmonitoring sorgt für rasche Benachrichtigung bei abweichenden Partikelwerten mit Nachweis von Partikelgrößen von 0,5 und 5,0 µm für GMP– und FDA-konforme Anwendungen.
Spritzen-Flüssigkeitsprobenahmesystem
Arbeitet mit einer Präzisionsspritze und einer einfachen Flüssigkeitsführung, um chemische Proben aus einem Probengefäß oder…
LiQuilaz® Partikelzähler für Flüssigkeiten der E-Serie
Der LiQuilaz Partikelzähler ist ein volumetrischer Partikelzähler, der den gesamten Flüssigkeitsstrom misst, sodass Sie genau wissen, welche Partikel…
AirSentry® II Mehrpunkt-Monitoringsystem
Das AirSentry II Mehrpunkt-Monitoringsystem ist der fortschrittlichste derzeit verfügbare Monitor für luftgetragene molekulare Verunreinigung („airborne molecular contamination“, AMC). Für den AMC-Nachweis und die Charakterisierung der Kontaminationsmerkmale an mehreren Standorten innerhalb eines Reinraums arbeitet er mit hochempfindlicher und reaktionsschneller Ionen-Mobilitäts-Spektrometrie. Das System ist mit einem 16- oder 30-Punkt-Probenahme-Verteilersystem und einem integrierten Computer mit sicherer Software und Datenübertragung ausgestattet.
AirSentry® II Point-of-Use Ion Mobility Spectrometer
With parts-per-trillion (ppt) sensitivity, these point-of-use sensors provide fast response, increased detection selectivity and repeatable performance. Combining Air Sentry II sensors with a central software platform allows for easy data acquisition and analysis. The AirSentry II family of airborne molecular contamination sensors provide continuous actionable data, to enable efficient response to contamination sources and events.
CLS-700 T Probenahmesystem für korrosive Flüssigkeiten
Das CLS-700 T Probenahmesystem für korrosive Flüssigkeiten ist ein Kompressions-Probenahmesystem mit einem LiQuilaz® Partikelzähler zur effektiven Messung von…
LiQuilaz® Partikelzähler für Flüssigkeiten der S-Serie
Der LiQuilaz Partikelzähler ist ein volumetrischer Partikelzähler, der den gesamten Flüssigkeitsstrom misst, sodass Sie genau wissen, welche Partikel…
SamplerSight Software
SamplerSight ist ein benutzerfreundliches Softwareprogramm für den Betrieb von Systemen zur chargenweisen Partikelmessung in Flüssigkeiten…
HSLIS-M50e Partikelzähler
Der HSLIS-M50E (High Sensitivity Liquid in Situ) Partikelzähler ermöglicht ein hochempfindliches In-Situ-Echtzeitmonitoring der Kontaminationswerte in dionisiertem Wasser.
HSLIS-M65e Partikelzähler
Ermöglicht ein hochempfindliches In-Situ-Echtzeitmonitoring der Kontaminationswerte in korrosiven Flüssigkeiten, darunter auch in Fluorwasserstoff (HF)
DataAnalyst Software
Die DataAnalyst Software hilft Ihnen, die von Ihrem Partikelzähler kommenden Daten zu verstehen, und bietet eine einfache und kostengünstige Möglichkeit für die Verwaltung …
FacilityNet Facility-Monitoring-Software
Die FacilityNet Software bietet eine Lösung für ein umfassendes Umgebungsmonitoring mit Anzeige von Echtzeit- und historischen Daten für alle…
HPGP-101-C Hochdruckgas-Sensorsystem
Bietet ein zuverlässiges Inline-Monitoring von Prozessgasen auf Verunreinigungen bei Leitungsdruck.
HSLIS-M100e Liquid Particle Counter
Ermöglicht ein hochempfindliches In-Situ-Echtzeitmonitoring der Kontaminationswerte in mittelgradig dionisierten Wassersystemen.
Ultra DI® 50 Partikelzähler für Flüssigkeiten
Der Ultra DI 50 Partikelzähler wurde speziell für VE-Wasser-Systeme (vollentsalztes Wasser) entwickelt. Er zählt und bestimmt die Größe von kleinsten Verunreinigungen bis 50 nm.
UltraChem® 100 Partikelzähler für Flüssigkeiten
Der UltraChem 100 Partikelzähler bietet Ihnen ein zuverlässiges Kontaminations-Monitoring und ist in der Lage, selbst kleinste Partikel bis 100 nm.
UltraChem® 40 Partikelzähler für Flüssigkeiten
Der UltraChem 40 Partikelzähler bietet Ihnen ein zuverlässiges Kontaminations-Monitoring und ist in der Lage, selbst kleinste Partikel bis 40 nm.
Ultra DI® 20 Partikelzähler für Flüssigkeiten
Speziell für Reinstwassersysteme entwickelt, ermittelt er rasch statistisch aussagekräftige Daten und führt Zählungen und Größenbestimmungen auch von sehr kleinen Kontaminanten bis 20 nm durch.