Partikelzähler für Reinstwasser
Viele Präzisionsfertigungsprozesse verwenden ultrareines Wasser (UPW) für kritische Reinigungs- und Spülschritte. Für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung müssen UPW-Prozesse sehr niedrige Partikelkonzentrationen aufweisen, die bei 20 nm gemessen werden. UPW wird auch häufig für chemische Verdünnungs- und Spülschritte in chemischen Misch- und Verteilungssystemen verwendet. Die Verwendung von kontinuierlichen Online-Partikelzählern, entweder beim letzten Wasserreinigungsschritt oder am Wafer-Point-of-Use, liefert den UPW-Anlagen- und Fertigungsverfahrenstechnikern die kritischen Partikeldaten, die zur effektiven Verwaltung der Wasserreinigungs- und Wafer-Reinigungsprozesse erforderlich sind.
Partikelzähler für Chemikalien
Prozesschemikalien werden in vielen Schritten zur Herstellung von Halbleitern und anderen kritischen Produkten verwendet. Ihre Reinheit ist für die Maximierung der Produktausbeute und -leistung von entscheidender Bedeutung. Die Überwachung von Partikeln in Prozesschemikalien von der chemischen Herstellung bis zur endgültigen Verwendung des Produkts ist in den heutigen sauberen Prozessen äußerst wichtig. Durch die kontinuierliche Online-Partikelüberwachung können Verfahrens- oder Anlageningenieure schnell auf Änderungen der chemischen Reinheit während des gesamten chemischen Verteilungsprozesses reagieren.
Partikelzähler für Gase
Hochentwickelte Technologie für die Herstellung von hochreinen Gasen zur Herstellung von Halbleitern, LED / OLED-Displays, Festplatten und Präzisionsoptiken mit hohen Ausbeuten. Diese Gase werden letztendlich direkt an Prozesswerkzeuge geliefert, um das Produkt zu reinigen und zu schützen oder um zu Prozessreaktionen beizutragen, die das Produkt positiv umwandeln. Wenn jedoch Gas schlechter Qualität zugeführt wird, sinken die Ausbeuten aufgrund eines Beitrags von Punktdefekten, einer verringerten Dünnfilmhaftung und Änderungen der elektrischen Eigenschaften aufgrund ionischer Verunreinigungen. Um sicherzustellen, dass die Gasqualität den Partikelspezifikationen entspricht, wird die Überwachung an der Gasquelle und in CQC-Systemen (Continuous Quality Control) durchgeführt. Laserpartikelzähler in Kombination mit Hochdruckdiffusoren dienen zur Überprüfung und Fehlerbehebung der Gasqualität in den nachgeschalteten Verteilungsleitungen oder als Validierungstest für die Reinheit der Gaskomponenten. Eine effektive Strategie kombiniert eine kontinuierliche und regelmäßige Überwachung des gesamten Gasflussweges, um sicherzustellen, dass das Gas mit der höchsten Reinheit zum endgültigen Einsatzort geliefert wird.
Partikelzähler für Luft
Reinräume sind kontrollierte Umgebungen, in denen die Qualität der Produktherstellung durch Partikelkontamination beeinträchtigt werden kann. In diesen Reinräumen werden aktive Luftfiltersysteme eingesetzt, die die Partikel in der Luft auf festgelegte Grenzwerte reduzieren. Die Überwachung dieser Partikel in der Luft liefert nützliche Daten zur Filtration der Umwelt, zu Kontaminationsquellen und zu möglichen Auswirkungen auf das Produkt oder den Prozess. Die Auswahl eines Aerosolpartikelzählers hängt von der jeweiligen Anwendung und dem Budget ab.
Molekulare Kontamination in der Luft
Durch die Änderung der chemischen, physikalischen, elektrischen oder optischen Eigenschaften hochentwickelter Oberflächen kann die durch die Luft verursachte molekulare Kontamination (AMC) zu Ertragsverlusten, Produktverschlechterungen und zum Verlust der Prozesskontrolle führen. Mit unseren AMC-Monitoren können Sie Verschmutzungen schnell erkennen.
