Der NanoAir™ 10, 10 nm Luft- und Gas-Kondensationspartikelzähler (CPC) ist das neueste Produkt in unserer Reihe branchenführender Empfindlichkeitsprodukte. Er bietet die Empfindlichkeit eines CPC mit der Benutzerfreundlichkeit und Funktionalität eines herkömmlichen Reinraumpartikelzählers. Er wurde für die Überwachung ultrareiner Umgebungen entwickelt und bietet eine Nachweisempfindlichkeit von 10 nm bei einer Probenflussrate von 2,8 l/min (0,1 CFM).

Die Größe des NanoAir 10 ist 83 % kleiner als die von Wettbewerbsprodukten, so dass er überall in ultrareinen Umgebungen eingesetzt werden kann, auch in Halbleiter-Prozess-Tools und Equipment Front-End-Modulen (EFEM). Das innovative, zum Patent angemeldete System zur Handhabung der Arbeitsflüssigkeit ist robust und effizient und ermöglicht einen 24/7/365 Tage langen Dauerbetrieb ohne jeglichen Benutzereingriff zwischen dem jährlich erforderlichen Nachfüllen der Arbeitsflüssigkeit und der Kalibrierung. Dadurch werden Unterbrechungen bei der Probenahme und Datenerfassung sowie Ausfallzeiten des Geräts reduziert.

Ein Begleitprodukt mit 10 Anschlüssen (ParticleSeeker™) unterstützt Anwendungen, bei denen mehrere Probenstellen in aufeinanderfolgenden oder programmierten Sequenzen überwacht werden müssen. Darüber hinaus ist das NanoAir mit dem HPD-III von PMS hochdruckgaskompatibel, und die Daten können mit der Anlagenüberwachungssoftware PMS Facility Net angezeigt, analysiert und gemeldet oder direkt an SCADA-Systeme von Drittanbietern oder Prozesstool-Eingänge übertragen werden.

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