Gewährleistung der Kontrolle von molekularer Kontamination in der Luft (AMC) in sauberen Produktionsumgebungen
In sauberen Fertigungsumgebungen müssen zwei Aspekte der AMC Airborne Molecular Contamination verstanden werden: (1) die unter stabilen Bedingungen vorhandenen Hintergrundkontaminationsniveaus und (2) die erhöhten Konzentrationen, die während Kontaminationsereignissen auftreten.
Ein neuer Ansatz zur Überwachung beider Aspekte der molekularen Kontamination wird vorgestellt. Jüngste technische Fortschritte haben es möglich gemacht, eine kontinuierliche Echtzeitüberwachung kritischer Standorte in sauberen Fertigungsumgebungen mit erheblichen Fortschritten bei Empfindlichkeit und Stabilität durchzuführen. Diese Verbesserungen werden durch die Verwendung eines kleinen, kostengünstigen Monitors erzielt, der für die kontinuierliche Überwachung eines einzelnen kritischen Standorts vorgesehen ist.
Darüber hinaus muss zwischen kritischen und nicht kritischen Umgebungen unterschieden werden. Kritische Orte sind solche, an denen entweder Prozesse oder Produkte direkt einem Risiko für Schäden durch molekulare Kontamination ausgesetzt sind oder an denen eine bekannte potenzielle Kontaminationsquelle besteht. Unkritische Kontaminationsbereiche sind in der Regel die Überwachung der Reinraumumgebung und die Überwachung der Rückluft. Die Verschmutzungsgrade in diesen Bereichen wirken sich nicht so direkt auf Produkte und Prozesse aus, weisen jedoch auf die allgemeine Sauberkeit hin. Optimale Überwachungslösungen für kritische und nicht kritische Standorte müssen als Teil eines vollständigen Anlagenüberwachungssystems implementiert werden.
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