Variação de sensibilidade: 20 - 100 nm

Contador de Partículas Químicas Chem 20™

Processos microeletrônicos de ponta exigem produtos químicos de processo muito limpos, altamente filtrados e regulados até um tamanho de partícula de 20 nm ou menos. Com sensibilidade a partículas de 20 nm, o novo Contador de Partículas Químicas Chem 20 da PMS é o contador de partículas mais sensível do mundo para produtos químicos de processo de alta pureza.

Dados extensivos sobre sistemas de distribuição e embalagem de produtos químicos comprovam que o contador Chem 20 da PMS, com sensibilidade de 20 nm, detecta maiores concentrações de partículas com estatísticas melhores do que produtos da concorrência. O Contador de Partículas Químicas Chem 20 é uma ferramenta valiosa que permite que os engenheiros de instalações e processos detectem e caracterizem rapidamente as fontes de partículas químicas antes que elas afetem o processo e o desempenho do dispositivo.

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Características

  • Óptica de laser e detectores avançados permitem sensibilidade de 20 nm em produtos químicos
  • Fluxímetro integrado de produtos químicos para definir o fluxo da amostra
  • Primeiro contador de partículas otimizado para produtos químicos de baixo e alto índice de refração a fim de melhorar o desempenho:
    • Contador Chem 20, para produtos químicos com índices de refração mais baixos
    • Contador Chem 20-HI, adaptado para ácido sulfúrico e outros produtos químicos de índices mais altos
  • Detecção integrada de vazamento para fornecer alarme em caso de vazamento interno de produtos químicos
  • Detector e alarme de baixo fluxo para garantir dados consistentes
  • Detector de bolhas para otimizar os dados e proteger o contador
  • Exibição de dados locais

Vantagens

  • Detecção de partículas de PSL de 20 nm e de Au de 9 nm em tempo real
  • Detecção de partículas limitadoras de rendimento (o que não é possível com tecnologias da concorrência)
  • Reação rápida a excursões de partículas muito antes de a varredura de superfície ou os dados de rendimento estarem disponíveis
  • Otimização dos sistemas de entrega de produtos químicos da base de carregamento até o ponto de processo
  • Redução dos limites de controle de processo por meio de estatísticas melhores de população de amostra
  • Otimização da operação do instrumento para aplicações muito sujas ou muito limpas usando dois modos de exibição, ampliando o espaço de aplicação do produto
  • Apoio a sistemas legados de aquisição de dados com comunicações flexíveis

Aplicações

  • Monitoramento de partículas em tempo real nos sistemas de distribuição de produtos químicos
  • Monitoramento de pontos de processo
  • Monitoramento de operações de embalagem de produtos químicos
  • Caracterização de desempenho e eficiência do filtro químico
  • Teste de desempenho de componentes de tratamento químico

Materiais de Suporte

Acessórios disponíveis

Software Facility Net

Software Facility Net

O software Facility Net fornece uma solução para monitoramento ambiental abrangente, incluindo exibição de dados históricos e em tempo real. Compatível com contadores de partículas e monitores de contaminação molecular da Particle Measuring Systems, bem como vários produtos de terceiros.

Kit de Instalação para Líquidos

Kit de Instalação para Líquidos

Para uso com aplicações online, o Kit de Instalação para Líquidos inclui: uma ferramenta de alargamento Flaretek®, cinco tampões, 25 pés (7,5 m) de tubulação de 1/4 pol. de perfluoroalcoxialcanos (PFA) e conectores machos.

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