NanoVision Technology® permite elevada dispersão molecular

Resumo

NanoVision Technology Enables High Molecule Scatter

A fabricação de semicondutores utiliza produtos químicos ultrapuros que frequentemente têm dispersão molecular significativa. Essa alta dispersão molecular reduz a eficiência de sinal para ruído da tecnologia de metrologia de partículas mais antiga e, em alguns casos, impede sua aplicação em produtos químicos mais exigentes. Na produção, é necessária uma solução de metrologia adaptável para caracterizar eficazmente a ampla variedade de produtos químicos e soluções em uso. A NanoVision Technology, integrada à família de produtos UltraChem, inclui uma correção autorreferenciada que elimina as variações de dispersão molecular da medição. Os produtos UltraChem estão disponíveis em configurações de amostradores em linha e separados, fornecendo uma solução de metrologia flexível em medições de ponto de uso em processo e distribuição contínua. Essa melhoria na qualidade e repetibilidade dos dados fornece a medida mais precisa da qualidade química ao longo do processo de fabricação de semicondutores.

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