Monitoramento de partículas em processos químicos

Resumo

Monitoring Particles in Process Chemicals

Foi demonstrado que níveis elevados de partículas em produtos químicos de processo afetam diretamente a qualidade do produto. A necessidade de reduções contínuas no tamanho e na quantidade das partículas em ambientes de salas limpas está bem estabelecida. O Roteiro internacional de tecnologia para semicondutores (ITRS), patrocinado pela Associação da Indústria de Semicondutores (SIA) dos Estados Unidos, define a necessidade de diminuições persistentes dos níveis de partículas em gases de processo, água, produtos químicos e ar a fim de atender à próxima geração de nós de tecnologia. A capacidade de medir com precisão esses contaminantes é a primeira etapa no desenvolvimento de um plano abrangente de controle de partículas.

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