Fatores que afetam as microbolhas em líquidos

Resumo

Factors Affecting Microbubbles in Liquids

No setor de fabricação de semicondutores, as microbolhas (bolhas menores que 100 μm de diâmetro) podem ser contaminantes que reduzem o rendimento de fabricação. Por exemplo, se forem distribuídas microbolhas em solvente fotossensível sobre uma pastilha, poderão causar um defeito no microcircuito que está sendo produzido, desse modo causando falha prematura. Este artigo discute alguns dos fatores que influenciam a formação de microbolhas em líquidos e como elas podem ser diferenciadas de partículas duras usando contadores ópticos de partículas. Apresentamos resultados experimentais em água e em um solvente fotossensível comum, o acetato de éter metílico de propilenoglicol. Os resultados são comparados com as previsões teóricas.

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