Monitoramento de Partículas para Produtos Químicos
Os produtos químicos do processo são usados em várias etapas para fabricar semicondutores e outros produtos essenciais, e sua pureza é crítica para maximizar o rendimento e o desempenho do produto. O monitoramento de partículas em produtos químicos de processo, desde o ponto de fabricação do produto químico até o ponto de uso final do produto, é extremamente importante nos processos limpos de hoje. O uso de monitoramento contínuo de partículas on-line permite que os engenheiros de processos ou instalações respondam rapidamente às mudanças nos níveis de pureza química em todo o processo de distribuição de produtos químicos. Nossas soluções de monitoramento de partículas de amostragem de lote químico têm versatilidade para uma variedade de aplicações e sensibilidade incomparável em 20 nm.
Monitoramento de Partículas para Água Ultrapura
Muitos processos de fabricação de precisão usam água ultrapura (UPW) / água DI para as etapas críticas de limpeza e enxágue. Para processamento de semicondutor avançado, os processos UPW devem manter níveis de concentração de partículas muito baixos, medidos no nível de 20 nm. O UPW também é comumente usado para etapas de diluição e lavagem de produtos químicos em sistemas de mistura e distribuição de produtos químicos. O uso de contadores de partículas on-line contínuos, seja na etapa final de purificação da água ou no ponto de uso do wafer, fornece à instalação UPW e aos engenheiros de processo da fábrica os dados críticos de partículas necessários para gerenciar com eficácia os processos de purificação de água e limpeza de wafer.
Contadores de partículas para Gases
A fabricação de tecnologia sofisticada depende de gases de altíssima pureza para produzir semicondutores de ponta, telas LED / OLED, drives de disco e ótica de precisão com alto rendimento. Em última análise, esses gases são fornecidos diretamente às ferramentas de processo para purgar e proteger o produto, ou para contribuir com as reações do processo que transformam positivamente o produto. No entanto, quando um gás de baixa qualidade é fornecido, os rendimentos diminuem devido a uma contribuição de defeitos pontuais, adesão de película fina reduzida e alterações nas propriedades elétricas devido a contaminantes iônicos. Para garantir que a qualidade do gás atenda às especificações de partículas, o monitoramento é implementado na fonte de gás e nos sistemas de Controle Contínuo de Qualidade (CQC). Os contadores de partículas a laser combinados com difusores de alta pressão são usados para verificar e solucionar problemas de qualidade do gás na tubulação de distribuição a jusante ou como um teste de validação da limpeza dos componentes do gás. Uma estratégia eficaz combina monitoramento contínuo e periódico em todo o caminho do fluxo de gás para garantir que o gás de mais alta pureza seja entregue ao ponto final de uso.
Contadores de Partículas para Ar
Salas limpas são ambientes controlados onde a qualidade de fabricação do produto pode ser afetada pela contaminação por partículas. Essas salas limpas usam sistemas de filtragem de ar ativos que reduzem as partículas transportadas pelo ar a limites especificados. O monitoramento dessas partículas transportadas pelo ar fornece dados úteis sobre a filtração do ambiente, fontes de contaminação e impacto potencial no produto ou processo. A seleção de um contador de partículas de aerossol é uma escolha influenciada pela aplicação e orçamento específicos.
Contaminação Molecular Aerotransportada
Ao alterar as propriedades químicas, físicas, elétricas ou ópticas de superfícies altamente projetadas, a contaminação molecular aerotransportada (AMC) pode causar perda de rendimento, degradação do produto e perda de controle do processo. Nossos monitores AMC ajudam a detectar a contaminação rapidamente.
