Die AirSentry II Ionenmobilitätsspektrometer für die molekulare Kontamination in der Luft (Airborne Molecular Contamination, AMC) erkennt und alarmiert Benutzer bei geringen Konzentrationen oder Änderungen der Luftkonzentration von Chloriden, Säuren, Aminen und ammoniakhaltigen Spezies. Mit einer Empfindlichkeit von Teilen pro Billion (ppt) bieten diese Point-of-Use-Sensoren eine schnelle Reaktion, erhöhte Erkennungsselektivität und wiederholbare Leistung. Die Kombination von Air Sentry II-Sensoren mit einer zentralen Softwareplattform ermöglicht eine einfache Datenerfassung und -analyse. Die AirSentry II-Familie luftgetragener molekularer Kontaminationssensoren liefert kontinuierlich verwertbare Daten, um eine effiziente Reaktion auf Kontaminationsquellen und -ereignisse zu ermöglichen.
Merkmale
- Hochempfindlicher Nachweis von Säuren und Basen (Säuren, Amine, Ammoniak und Chloride)
- Vielseitige Produktkonfiguration für Point-of-Use-, Multi-Point- und mobile Anwendungen zur Überwachung der molekularen Kontamination in der Luft
- Kompakte Größe ermöglicht die Platzierung an jedem Ort
- Ethernet, RS-232, 4-20 mA Ausgänge
Vorteile
- Kontinuierliche Überwachung der molekularen Kontamination (AMC) kritischer Stellen in der Luft
- Robuste und zuverlässige Datenerfassung, -kontrolle und -analyse
- Langfristige Datenstabilität
- Niedrigster Preis pro Test
Applications
- Echtzeit-Korrosionsüberwachung an den Stellen des Ätzprozesses
- Echtzeitüberwachung von Aminen und Ammoniak in kritischen Lithografiesystemen
- Quantifizierung der Effizienz chemischer Filter
- Verfolgung und Fehlersuche von molekularen Kontaminationsquellen in der Luft im gesamten Reinraum und in Prozesswerkzeugen
- Analyse der luftgetragenen molekularen Kontamination (AMC) in FOUP-Waferspeichermodulen
Weiterführende Informationen
FAQs
Lieferbares Zubehör
AMC-Vakuumpupe
Standalone-Elektropumpe, die eine geeignete Vakuumquelle für einen AirSentry II POU-Sensor bereitstellt. Sie kommt üblicherweise zum Einsatz, wenn keine Hausvakuumanlage verfügbar ist.
Facility Net
FacilityNet bietet eine Lösung für ein umfassendes Umgebungsmonitoring mit Anzeige von Echtzeit- und historischen Daten. Geeignet für kompatible Partikelzähler und Monitore für molekulare Verunreinigungen von Particle Measuring Systems sowie für verschiedene Produkte von Drittanbietern.
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