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使用点离子迁移分光计:AirSentry II

AirSentry® II 粒子监测仪是粒子监测系统有限公司研制的最新型的气悬浮分子沾染(AMC)监测仪,功能十分强劲。新型的离子迁移光谱仪(IMS)单元具有ppt级灵敏度、反应迅速、可选性广等优点。本款设备可以连续监测关键点,并带有中央软件平台,便于数据采集和分析。AirSentry II为用户提供最有价值的粒子沾染信息,包括高精确度的无干扰数据,从而帮助用户在定位、控制、防止分子沾染方面作出更加明智的决策。

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 Molecular Contamination Monitor: AirSentry II 
   

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好处

  • 连续监测关键点
  • 耐久可靠的数据采集、控制、分析功能
  • 无移动部件
  • 无需频繁的预防性维修保养
  • 以太网,RS-232, 4-20 mA 输出
  • 体积小,可放在任何位置
  • 单一的外接校准系统,确保分析仪之间相互匹配

应用

  • 外露光学部件 - 起雾和镜头保修数据
  • 光罩台 - 光罩台污染
  • 防护轨 - 扩散/形成沾染(“T”形顶)
  • 光罩检查工具和贮存器 - 贮存区污染
  • 洁净室环境监测 - 基线污染监测
  • 补充空气和再循环空气分析 - 污染移动分析

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