Å©¸°·ë ºÐÀÚ ¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µ °ü·Ã ¹®¼
|
¼®ÆǼúÀ» À§ÇÑ ÃÖÀûÀÇ ºÐÀÚ ¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µ (305.2 KB) ¼®ÆǼú¿¡¼ ºÐÀÚ ¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µ¿¡ ´ëÇÑ »õ·Î¿î Á¢±ÙÀÌ Á¦½ÃµË´Ï´Ù. ÃÖ±ÙÀÇ ±â¼ú ¹ßÀüÀº »ùÇà Ʃºù È¿°ú¸¦ ÃÖ¼ÒÈ ÇÏ¸é¼ °¨µµ¿Í ¾ÈÁ¤¼ºÀÇ Áß´ëÇÑ ¹ßÀüÀ¸·Î Áö¼ÓÀûÀÎ ½Ç½Ã°£ ¸ð´ÏÅ͸µ ¼öÇàÀÇ °¡´É¼ºÀ» ¿¿© Áá½À´Ï´Ù. ¸ðµç Ç¥¿Í ±×¸²ÀÌ ÀÖ´Â À§ ÆÄÀÏÀ» ´Ù¿î·ÎµåÇϽʽÿÀ. ¾Æ·¡ HTML ¹öÀüÀº °£´ÜÇÑ °³¿ä ¹öÀüÀÔ´Ï´Ù: HTML ¹öÀü . |
|
°ø±â ºÐÀÚ ¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µ (659.7 KB) ´Ù¾çÇÑ ±â¼úÀÌ ½Ç½Ã°£°ú ¹«ÀÛÀ§ »ùÇà ¸ð´ÏÅ͸µ µÑ ´Ù¿¡ ä¿ëµÇ¾î¿Ô½À´Ï´Ù. ÀÌ ¸ð´ÏÅ͸µ ±â¼úµéÀÇ °áÇÕÀ¸·Î ÃÖ°í µî±ÞÀÇ Á¦¾î, ÃÖÀú °¨Áö ÇÑ°è ±×¸®°í Á¾Çü¼º°ú °ü·ÃÇÏ¿© °¡´ÉÇÑ °¡Àå ¼¼ºÎÀûÀÎ µ¥ÀÌÅÍ°¡ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ ¿¬±¸´Â ½ÇÁ¦ »ùÇÃÀº ¹°·Î NIST ÃßÀû°¡´ÉÇÑ °¡½º ±âÁØÀ» ÃøÁ¤Çϱâ À§ÇÑ ¾×ü ÁýÁø±â¿Í °ÇÁ¶ ÈíÂø±â µÑ ´Ù¸¦ º´ÇàÇؼ °¡µ¿ÇÏ´Â µÎ °³ÀÇ ´Ù¸¥ ½Ç½Ã°¡ ¸ð´ÏÅÍÀÇ ºñ±³¿¡ ÀÌ¿ëÇÕ´Ï´Ù. ¸ðµç Ç¥¿Í ±×¸²ÀÌ ÀÖ´Â À§ ÆÄÀÏÀ» ´Ù¿î·ÎµåÇϽʽÿÀ. ¾Æ·¡ HTML ¹öÀüÀº °£´ÜÇÑ °³¿ä ¹öÀüÀÔ´Ï´Ù: HTML ¹öÀü . |
|
ÀÌ¿Â À̵¿¼º ½ºÆåÆ®·Î½ºÄÚÇÇ(IMS)´Â ¿À¿°¿ø ºÐÀÚ¸¦ °¨ÀÚÇÏ°í ±Ô¸íÇÏ´Â ¸¹Àº ¿ëµµ¿¡ ¾²ÀÌ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ ¹®¼´Â IMS ±â¼úÀÌ ¾î¶»°Ô ÀÛµ¿Çϴ°¡¸¦ ¿¬±¸ÇÏ°í, IMS ¸ð´ÏÅ͸¦ »ç¿ëÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ »ê¾÷À» »ìÆ캸°í, ¸ð´ÏÅ͸µ ¿ëµµ ¹× ¿¹¿¡ °üÇÏ¿© ³íÇÕ´Ï´Ù. ¸ðµç Ç¥¿Í ±×¸²ÀÌ ÀÖ´Â À§ ÆÄÀÏÀ» ´Ù¿î·ÎµåÇϽʽÿÀ. ¾Æ·¡ HTML ¹öÀüÀº °£´ÜÇÑ °³¿ä ¹öÀüÀÔ´Ï´Ù: HTML ¹öÀü . |
새 상 품 을 |
Presentation: Part-Per-Trillion Monitoring of Airborne Molecular Contamination (AMC)Presentation: Part-Per-Trillion Monitoring of Airborne Molecular Contamination (AMC) (203.2 KB) |
AMC ¸ð´ÏÅ͸µ¿¡¼, °£´ÜÇÑ µðÀÚÀÎÀÌ ¿À·¡ °©´Ï´ÙIn AMC Monitoring, Simple Designs Go A Long Way (189.6 KB) Áö³ ¼ö³â µ¿¾È, ´Ù¾çÇÑ ¼¾¼ ¹× °¨Áö ±â¼úÀÌ È¿À²ÀûÀÎ AMC(°øÁß ºÐÀÚ ¿À¿°) ¸ð´ÏÅ͸µ¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¿ä±¸Á¶°ÇÀ» ÃæÁ·Çϱâ À§ÇÏ¿© º¹À⼺ÀÇ Áõ°¡·Î½á ÀûÀÀÇØ¿Ô½À´Ï´Ù. º¹ÀâÇÑ ¼³°è´Â °¨Áö Àü¿¡ »ùÇÃÀÌ º¯°æµÉ ¼ö ÀÖ´Â ±âȸ¸¦ °¡Á®¿À°Å³ª ±ÔÄ¢ÀûÀÎ ¿¹¹æÀûÀÎ À¯Áö°ü¸®¸¦ ¿ä±¸ÇÏ´Â ÀáÀçÀûÀÎ Çϵå¿þ¾î ½ÇÆи¦ °¡Á®¿ÈÀ¸·Î½á ÃøÁ¤¿¡ ÀÖ¾î¼ ºÒÈ®½Ç¼ºÀ» ´õÇϱ⸸ ÇÕ´Ï´Ù. AMC ¸ð´ÏÅ͸µ Àåºñ¸¦ À§ÇØ, Occam ·¹ÀÌÀú ¿ø¸®´Â ¸Â´Â °Í °°½À´Ï´Ù – ¡°´Ù¸¥ ¸ðµç °ÍµéÀÌ °°Áö¸¸, °¡Àå °£´ÜÇÑ ¼Ö·ç¼ÇÀÌ ÃÖ°íÀÔ´Ï´Ù¡± ¸ðµç Ç¥¿Í ±×¸²ÀÌ ÀÖ´Â À§ ÆÄÀÏÀ» ´Ù¿î·ÎµåÇϽʽÿÀ. ¾Æ·¡ HTML ¹öÀüÀº °£´ÜÇÑ °³¿ä ¹öÀüÀÔ´Ï´Ù: HTML ¹öÀü . |
|
ÀÌ¿Â À̵¿ ºÐ±¤°è·®¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇÑ, Å©¸°·ë¿¡¼ÀÇ ¾Ï¸ð´Ï¾Æ ¹× NMP ¸ð´ÏÅ͸µ (220.8 KB) ¸ðµç Ç¥¿Í ±×¸²ÀÌ ÀÖ´Â À§ ÆÄÀÏÀ» ´Ù¿î·ÎµåÇϽʽÿÀ. ¾Æ·¡ HTML ¹öÀüÀº °£´ÜÇÑ °³¿ä ¹öÀüÀÔ´Ï´Ù: HTML ¹öÀü . |
|
½Ç½Ã°£ ¸ð´ÏÅÍ: Review and Lithography Applications, 2005³âµµ (3.0 MB) Semiconductor Fabtech, 27ÆÇ¿¡ °ÔÀçµÊ. ÀúÀÚ Robin Danfelt, Nikon Precision. ¸ðµç Ç¥¿Í ±×¸²ÀÌ ÀÖ´Â À§ ÆÄÀÏÀ» ´Ù¿î·ÎµåÇϽʽÿÀ. ¾Æ·¡ HTML ¹öÀüÀº °£´ÜÇÑ °³¿ä ¹öÀüÀÔ´Ï´Ù: HTML ¹öÀü . |
|
AirSentry ½Ã½ºÅÛ µ¥ÀÌÅÍ ÅëÇÕ ¿É¼Ç (64.3 KB) ¸ðµç Ç¥¿Í ±×¸²ÀÌ ÀÖ´Â À§ ÆÄÀÏÀ» ´Ù¿î·ÎµåÇϽʽÿÀ. ¾Æ·¡ HTML ¹öÀüÀº °£´ÜÇÑ °³¿ä ¹öÀüÀÔ´Ï´Ù: HTML ¹öÀü . |
ÀÌ À¥»çÀÌÆ®ÀÇ Á¤º¸´Â ¿¹°í¾øÀÌ º¯°æµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
