분자 오염

저희 Particle Measuring Systems의 분자 부서는 공기 부유 및 표면 입자 오염의 모니터링을 전담합니다 (AMC 및 SMC). 반도체 산업에서 실시간 모니터링의 선구자로서, 저희는 성공적으로 오염 수준을 측정하고 그 소스 및 경향을 확인하며 문제를 해결할 수 있는 자료와 전문지식을 보유하고 있습니다. 저희는 고객의 필요성에 근거하여 선택한 완전한 분자 관련 서비스를 제공합니다.

현장 탐사

• 공기 중의 산화물 분석
• 공기 중의 암모니아 및 아민 분석
• 공기 중의 유기 화합물 분석 (탄화 수소, 규소 화합물, NMP 등)
• 표면 응축물 및 미량 금속의 분석

공정 특성

• 실시간 AMC 모니터링
• 실시간 SMC 모니터링
• 공정 가스, CDA 또는 필터의 효율성 모니터링
• FOUP, 레티클 포드 등의 기체 제거 테스트

문제 해결

• 문제 해결 전문가가 문제를 신속하고 철저하게 확인합니다.
• 오염하는 물질 종류 및 사건 (소스) 확인
• 위치와 시간에 따른 AMC 및 SMC 레벨 측정
• 화학적 필터의 사후 분석

제품 검증

• 분석기의 정확성과 기능성을 검증하여 신뢰성 구축
• 서비스를 제공하기 전에 고객의 동의에 따라 테스트 방법과 기술을 공유합니다.

당사의 서비스에 관한 추가 정보가 필요한 경우, 연락처:

Aaron Shupp
ashupp@pmeasuring.com
전화: (303) 443-7100 ext. 454
무료 전화: (800) 238-1801