AirSentry® II  AMC 분석 센서 (IMS)

AirSentry II AMC 분석 센서는 이온 모빌리티 분광계(IMS)를 이용하여 낮은 농도의 산, 아민 및 암모니아 함유 물질들 또는 이것들의 공기 중 레벨의 변화를 감지하고 사용자에게 알려줍니다. 이러한 POU센서들은 ppt단위 수준의 민감성, 5분 이내의 신속한 반응성, 향상된 선택적 감지성과 뛰어난 재현성을 제공합니다. AirSentry II 센서와 중앙 소프트웨어 플랫폼이 결합하면 데이터를 쉽게 획득하고 분석할 수 있습니다. AirSentry II 센서들은 연속적인 실행가능한 데이터를 제공하여 오염원과 사건들에 효율적으로 반응할 수 있게 해줍니다.

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특징

  • 산 및 염기(아민, 암모니아 그리고 염화물)에 대한 고감도 감지
  • 현장, 다지점 그리고 모바일 모니터링 응용을 위한 다양한 제품 배치
  • 컴팩트한 크기로 어디든 배치가 가능
  • 이더넷, RS-232, 4-20 mA 출력

이점

  • 중요 지점들의 연속적인 AMC 모니터링
  • 활발하고 신뢰할 수 있는 데이터 획득, 제어 그리고 분석
  • 장기적인 데이터 안정성
  • 시험 당 최소 비용

응용

  • 식각 공정 위치내에서 실시간 부식 모니터링
  • 중요한 리소그래피 시스템내에서 실시간 아민 및 암모니아 모니터링
  • 화학 필터 효율의 수량화
  • 청정실 전체 및 공정 툴에서 오염원 추적 및 문제해결
  • FOUP 웨이퍼 스토리지 모듈내에서 오염 분석

이용 가능한 부속재

AMC 진공 펌프

AMC 진공 펌프

AirSentry II POU 센서를 위해 적절한 진공원을 제공하는 단독형 전기 펌프. 하우스 진공을 이용할 수 없을 때 주로 사용.

Facility Net Software

Facility Net Software

Facility Net Software는 실시간 및 역사적 데이터 디스플레이를 포함한 포괄적인 환경 모니터링을 위한 솔루션을 제공합니다. 호환 가능한 파티클 측정 시스템에는 제3자 제품들 뿐 아니라 파티클 카운터 및 분자 오염 모니터 또한 포함됩니다.

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