AirSentry® II 멀티 모니터링 시스템

AirSentry II 멀티 모니터링 시스템은 현재 이용 가능한 최신 AMC 모니터로서, 고감도의 반응형 이온 모빌리티 분광계를 사용하여 청정실 내의 다중 위치로부터 AMC를 감지하고 파악합니다. 시스템은 안전한 소프트웨어 및 통신을 갖춘 온 내장형 컴퓨터와 16 또는 30 포인트 매니폴드 샘플링 시스템을 특징으로 합니다. 현대적인 청정실 제조 구역에서는 프로세스 툴들이 종종 넓은 청정실 구역들과 여러 층에 걸쳐 퍼져있습니다. 공조기는 원치않는 구역들로 분자 오염물질을 쉽게 퍼트려 실제 오염원에서 떨어져 있는 공정 단계에 부정적인 영향을 미칠 수 있는 청정실 내의 공기 대부분을 재순환시킵니다. AirSentry II AMC 모니터링 시스템은 설비에 퍼져있는 많은 수의 샘플 포인트를 커버하는 모니터링 시퀀스들 뿐만 아니라 신속한 오염물 감지를 허용하는 중앙식 비용 효율적인 모니터링 스테이션을 제공합니다. AirSentry II 멀티 모니터링 시스템은 AMC 관리에 중요한 요소 입니다.

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특징

  • 최대 30개의 샘플 위치를 모니터링
  • 반복적이고 신뢰할 수 있는 고감도 AirSentry II 이온 모빌리티 분광계(IMS) 센서들을 포함
  • 낮은 농도의 산, 아민, 암모니아 그리고 염화물을 감지
  • 국립 표준 기술원(NIST)에 유래하는 캘리브레이션
  • 실시간 그래픽 소프트웨어

이점

  • 샘플 포인트 당 낮은 비용
  • 사용자가 규정하는 바에 따라 여러 AMC 화합물을 감지
  • AMC 사건 및 동향을 감지하기 위해 프로그램밍된 모니터링
  • 컴팩트한 크기
  • 시험 위치의 다양한 배치

응용

  • 멀티 포인트 정정실 및 프로세스 베이 모니터링
  • 새로운 청정실에서 AMC 레벨의 기준 및 조건
  • 화학적 필터 효율성의 분석 및 수량화
  • 조립 및 재순환 공기로부터 AMC 기여의 특성화

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