AirSentry® II 모바일 AMC 감지 시스템

AirSentry II 모바일 AMC 감지 시스템은 고정형 AMC 모니터링 프로그램의 성능을 향상시키기 위해 설계된 것으로, 청정실의 AMC를 모니터링하는 첫 번째 이동식 시스템입니다. 이동성은 전략적인 AMC 모니터링 프로그램에서 중요한 역할을 담당하여 오염원의 위치가 신속하게 파악되고 수량화되어 제어되도록 합니다. 모바일 카트의 로컬 터치 PC는 각각의 모니터링 위치에서 AMC 레벨에 대한 즉각적인 피드백을 제공합니다. Facility Net Software는 특정 환경을 모니터링 하는 동안 실시간으로 데이터를 저장하고 그래픽 디스플레이를 제공합니다. 화학적으로 깨끗하게 걸러진 CDA와 Vacuum이 카트에 내장되어 제공됨에 따라, 경쟁사 제품과는 달리, 분석기가 장소 재배치 후에 곧바로 장시간의 Warm-up Time 없이 즉시 샘플작업을 할 수 있습니다.

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특징

  • 고감도 AirSentry II 이온 모빌리티 분광(IMS) 분석기는 산, 아민, 암모니아 그리고 염화물을 감지합니다.
  • 모바일 카트- 최우선적인 샘플 위치로 빠르게 시스템을 이동시킵니다.
  • 내장형 컴프레서, 에어 드라이어, 화학적 필터 그리고 진공 펌프
  • 배터리 백업은 운송 중에도 30분 이상 연속으로 샘플 작업을 할 수 있는 용량입니다.
  • 터치식 PC 및 소프트웨가 실시간 및 역사적 집중 데이터를 보여줍니다.
  • 선택적인 무선 데이터 통신

이점

  • 오염원을 밝혀냄으로써 AMC 문제를 실시간으로 정확히 밝혀줍니다.
  • 넓은 청정실의 여러 구역들에서 AMC 레벨을 밝혀줍니다.
  • AMC 분석기는 필요한 떄는 언제나 어디서나 이용가능합니다.
  • 프로세스 툴 및 시설에 지속적으로 실행에 옮길 수 있는 데이터

응용

  • 오염원에 대한 위치 확인 및 문제 해결
  • 다중 감시 시스템이 감지한 AMC 이벤트들에 대한 고립과 검증
  • 국소환경 및 공정 툴 내부의 AMC 레벨 시험
  • 화학적 여과 성능 시험 및 확인

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