Chem 20 케미컬 파티클 카운터

최첨단 마이크로칩 공정은 20nm 이하의 파티클을 여과한 고순도 케미컬을 필요로 합니다.

신규 출시된 Chem 20은 20nm 파티클을 측정할 수 있는 세계 최초 20nm의 케미컬 파티클 카운터 입니다. 다양한 케미컬 공급장치와 패키징 시스템에서 검증된 데이터는 Chem 20 을 통해 경쟁사보다 더 높은 효율로 의미있는 통계적 데이터를 확보할 수 있다는 것을 입증합니다.

Chem 20 케미컬 파티클 카운터는 공정/Facility 엔지니어들이 소자의 성능과 공정에 영향을 미치기 전에 파티클 소스를 신속하게 파악 할 수 있게 하는 중요한 장비입니다.

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  • Advanced laser optics and detectors enable 20 nm sensitivity in chemicals
  • On-board chemical flow meter to set sample flow
  • First particle counter optimized for low and high refractive index chemicals for improved performance:
    • Chem 20 sensor, for chemicals with lower indices of refraction
    • Chem 20-HI sensor, tailored for sulfuric acid and other higher-index chemicals
  • On-board leak detection to provide alarm upon an internal chemical leak
  • Low-flow detector and alarm to ensure consistent data
  • Bubble detector to optimize data and protect sensor
  • Local data display


  • Detect 20 nm PSL & 9 nm Au particles in real time
  • Detect yield-limiting particles (not possible with competitive technologies)
  • React quickly to particle excursions long before surface scan or yield data are available
  • Optimize chemical delivery systems from the loading dock to point-of-process
  • Tighten process control limits through improved sample population statistics
  • Optimize instrument operation for very dirty or very clean applications using two view modes, extending product application space
  • Support legacy data acquisition systems with flexible communications


  • Real-time particle monitoring within chemical distribution systems
  • Point-of-process monitoring
  • Chemical packaging operations monitoring
  • Chemical filter performance and efficiency characterization
  • Performance testing of chemical handling components

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