CLS-700 T 부식성 액체 입자 계수기

Liquilaz s-시리즈 용적 측정 입자 계수기와 결합한 150°C까지 대부분의 액체 화학물 측정용 압축 셈플러. 다양성과 신뢰성으로 이 시스템은 공정별 샘플링을 할 때 증가되는 이동성으로 카트에서 흔히 목격됩니다. 압축 샘플러는 기포성 또는 고온 화학물의 거품으로 인한 비정상적인 데이터 문제를 없애줍니다.

신기술로 웨이퍼와 보다 밀접한 InSitu 입자 모니터링 (1.7 MB)

비용효율
50 또는 80 ml/분 유동률 및 100% 관찰량을로 보다 빠른 공정 제어
비정상 상태에 즉각적인 대응을 위한 실시간 분석으로 스크랩 감소
다기능
광범위한 용도 및 액체 지원
프로그램가능 입자 크기 한계
쉬운 이동성 설계
압축 샘플링으로 기포성 포함 대부부의 화학물 측정 가능
공정 상황과 샘플링 조절을 위한 외부방아쇠
편리한 사용
문자숫자 쪽매기기, 센서 상태, 분포도 그리고 SPC 차트, 타임 프롯이 기능의 Facility Net 공정 제어 소프트웨어로 온라인 샘플링 단순화
SamplerSight 배치 샘플링은 정밀한 데이터 저장, 회수, 보고를 포함한 모든 면의 데이터 관리를 쉽게 합니다
다른 액체로 옮길 때 빠른 세척을 위한 설계

기포성 입자 수준 측정
화학 품질 확인
젖은 공정 모니터링
화학 공정 제어
목욕 모니터링

계수 도전 (360.0 KB)

액체 레이저 입자 계수기: 액체 부식 샘플러, CLS-700은 150°C까지 샘플 공정 화학물에 사용되는 배치 시스템입니다. 이 시스템은 다기능으로 설계되어 제조 설비 내에서 목욕에서 목욕로 화학물 샘플링을 위한 실험실 카트에 꼭 맞습니다. CLS-700은 목욕, 드럼 또는 병에서 액체를 추출하고 센서로 들어가게 하여 미립자 정보를 수집합니다. 샘플링은 액체를 뷰렛으로 들어가게 하고 거품을 제거하기 위해 압축함으로써 이뤄집니다. CLS-700에서 젖은 표면은 플루오르화수소산을 포함하여 대부부분의 고온 공정 화학물과 화학적으로 호환합니다. 모든 전자장치는 부식을 방지하기 위해 배관공사 단면도과 물리적으로 분리되며 불활성 가스로 정화됩니다. 정화 가스는 집 공급, 병 또는 펌프로 공급될 수 있습니다.

CLS 700 T는 공정 툴에 의해 샘플러가 작동 또는 정지될 수 있는 방아쇠을 포함합니다. 샘플러는 목욕교환 중에 입자 계수기로 해로운 화학물 거품 주입을 방지하는 자동 차단 기능이 있습니다.

미립자 측정은 LiQuilaz® 입자 센서를 사용하여 수행됩니다. 0.2 마이크론에서 시작해서 15 사이징까지 한계가 가능합니다. 사이징 감도는 작업자가 조절할 수 있으며 소프트웨어로 제어됩니다. PC로 실시간에 입자 데이터를 디스플레이하여 테이블 형식과 분포도에서 전체 퍼센트로 시간 별 단위 양의 계수를 보여줍니다.

외부 표면은 모든 참고 및 상태 레이블링이 레이저 etch된 폴리프로필렌으로 만들어졌습니다. 이렇게 함으로써 거친 용액으로 표면이 손상되지 않고 화학물 샘플링 간에 닦기가 쉬워 유지하기에 편리합니다.

이 입자 계수기는 CE 인증을 받은 장치입니다.

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측정하지 않고는 제어할 수도 없다

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