부식성 액체 입자 계수기: CLS -1000

CLS-1000 입자 계수기는 90°C까지 액체 화학물질 측정을 위한 Liquistat 용적측정 입자 계수기와 결합한 압축 샘플러입니다. 누출 감지와 정화 공기 같은 내장 안전 기능은 위험한 용제와 산 사용을 위한 젖은 벤치 통합에 이상적입니다. 다양성과 신뢰성으로 이 시스템은 공정별 샘플링을 할 때 증가되는 이동성으로 카트에서 흔히 목격됩니다. 압축 샘플러는 기포성 또는 고온 화학물의 거품으로 인한 비정상적인 데이터 문제를 없애줍니다. CLS-1000는 공정 화학물질의 입자 측정을 위한 새로운 SEMI C1 기준을 완벽하게 준수합니다.

계수 도전 (360.0 KB)

빠른 샘플 주기로 보다 빠른 입자 감지
대용량 샘플로 엄격한 공정 제어 및 데이터 변수 감소
울트라퓨어 공정을 위한 0.1 µm 감도
50 ml/분 유동률 및 100% 관찰량으로 보다 빠른 공정 제어
데이터 기반으로 보다 긴 유지관리 주기
사용자 선택 측정량으로 고가 화학물 절약
압축 샘플링으로 90°C까지 기포성 화학물을 포함하여 대부분 화학물 측정 가능
공장 전체에서 사용 가능한 이동성
내부 누출 감지와 억제
부식물질 내성 폴리프로필렌 외장
정화 에어로 위험한 증기 침투 방지
뛰어난 가시성의 상태 표시기

젖은 공정 입자 모니터링
목욕 자격
포토레지스트 QA 및 입자 모니터링
화학 QA 입자측정
일반 제품 입자 모니터링

CLS 1000 사양서 (209.3 KB)

압축 입자 계수기로 이동식의 현장 액체 입자 모니터링 (581.0 KB)

레이저 입자 계수기: 0.1 마이크론 감도 배치 샘플링 공정 화학물Particle Measuring Systems은 부식성 액체 입자 계수기 체계 CLS-1000을 제공합니다. 이 시스템은 배치 샘플러, 액체 입자 센서 그리고 데이터 수집과 경향 분석을 위한 PC로 구성되어 있습니다. CLS-1000 입자 계수기는 입자가 비정상적으로 발생할 때 빠른 데이터 수집과 복구 시간을 위한 빠른 샘플 주기를 제공합니다.

CLS-1000 시스템에 의한 용적측정 샘플링으로 보다 엄격한 공정 관리, 데이터 변수 감소 그리고 정확한 사이징 정보가 가능합니다. 이 시스템은 기능이 다양합니다. 90°C까지 냉온 화학물 샘플링을 하고 기포성 화학물과 계면활성제에서 거품 제거를 위한 압축 샘플러를 사용합니다. 작동자는 15 또는 55 ml에서 오버흡입 뷰렛의 액체량을 선택하여 고가 화학물 샘플링을 비용효율적으로 해줍니다.

CLS-1000은, 시스템 오류를 알리는 가시성 경고 표시기와 함께, 누출 감지 센서와 액체 억제등을 포함하여 내장 안전 기능이 있습니다. 외부 표면은 폴리프로필렌으로 만들어져서 대부분의 공정 화학물에 내성이 있습니다. 정화 에어 또한 위험한 화학물을 내부로 들어오지 못하게 합니다.

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측정하지 않고는 제어할 수도 없다

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