[국가 변경]부유 입자 계수기: LASAIR II 110
LASAIR II 110 레이저 입자 모니터는 0.1 마이크론 입자를 카운트할 수 있는 최초의 레이저 다이오드 유닛입니다. 0.1마이크론 입자까지 감지할 수 있는 모든 다른 입자 계수기는 초과시간까지 오염될 수 있는 레이저 캐비티를 이용합니다. 이 오염은 시스템의 감도와 정확성을 감소시키거나 마비시킵니다. 레이저 파워를 복구하려면 교육을 받은 기술자가 레이저 광학부분을 자주 세척해야 합니다. 레이저 캐비티 및 관련된 문제들은Lasair II 110에서 다이오드 레이저를 사용함으로써 제거되어 왔습니다. 게다가 다이오드 레이저는 훨씬 긴 예상 수명을 때문에 장비 가동휴지와 수리비용을 감소시켜줍니다.
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이점
- 결함 감소
- 흠을 일으키는 입자 실시간 측정
- 입자의 근원을 찾아내기 위한 이동식 계수기로 사용
- 다양한 샘플링에서 기존의 언더카운팅 에러 제거
- 다른 용도에서 모니터링을 위한 모든 범위의 액세서리
- 기존 유닛보다 0.1 마이크론 이상 입자 감지
- 생산성 증가
- 크린룸 인증 동안에 저장/리로드 기능으로 시간 절약
- 웹브라우저를 통한 사무실 PC에서 크린룸 입자 모니터링 제어: 설치, 샘플, 디스플레이, 인쇄, 펌웨어 업데이트, 다운로드 날짜, 샘플 지시 업로드 등
- 조용한 작동으로 작업 환경 향상
- 디스플레이와 프린트를 위한 9개 언어 선택
- ISO, FS, 또는 British 표준 위한 계산 및 보고
- 종합 데이터 관리를 위한 Facility Net과 인터페이스
- Excel, PDA, 또는 USB 플래쉬 메모리 키로 빠른 데이터 다운로드
- 비용효율
- 빈번하고 값비싼 레이저 청소 제거
- 긴 수명 펌프로 매년의 vane 교체 불필요
- 용이한 세척/닦기 다운; 입자 트랩을 최소화하는 설계
- 튼튼한, 내화학물질, ESA/ESD-준수, 세척하기 쉬운 디스플레이 스크린과 KYDEX? 케이싱
- 3년의 레이저 보장을 가능하게 해주는 냉각 보다 오래 쓰는 냉각 다이오드 레이저
어플리케이션
- 클래스1에서 클래스10,000까지 크린룸 모니터링
- 고감도 사용
- ISO, FS 또는 British 표준 설비 인증
- 최소 환경 자격
- 문제해결/휴대 사용
- 다양한 샘플링 (Aerosol Manifold II 로)
- 공정 가스 모니터링 (고압 디퓨저 포함)
- 초청정 구역 (ISO 1-2)
- ISO 등급 1 - 9용 장치(등급 8 및 9에 요구되는 에어로솔 희석장치)에 대한 것과 동일한 입자 입자 계수기 사용
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2005년도 반도체 국제 Editor's Choice 상 수상.
이 부유 입자 계수기는 CE 인증을 받은 장치입니다.
LASAIR®는 Particle Measuring Systems의 등록 상표입니다.
미국 특허 및 출원 신청 – 미국4798465; 일본 2786187; 독일 3712665C2; 미국 6167107; 일본 3559782; 독일 60005581.3; 미국 6859277; 외국 특허 심사 중.
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