최소 환경 공정 모니터: MiniNet

입자모니터최소 환경에 왜 중요합니까

반도체 산업은 비용을 줄이고 컴퓨터 칩의 성능을 향상시키기 위한 지속적인 노력을 하고 있습니다. 이러한 목표를 위한 열쇠는 칩의 크기를 줄이고 300 mm 웨이퍼에 보다 많은 칩을 넣는 것입니다. 이 산업이 300 mm 기술로 옮겨감에 따라 보다 작은 입자가 칩의 성능에 영향을 미칩니다. 해결책은 보다 청결한 공정을 개발하는 것입니다.

데이터 저장과 제약업계와 마찬가지로 - 최소 환경(또는 아이설레이터)는 이러한 공정의 주요 설계 요소입니다. 각각의 툴에 꼭 맞는 보호 밀폐함를 만듦으로써 청결을 위한 공기의 양은 크게 줄었습니다. 다른 설계 요소들(로봇, FOUPs)과 결합하여 최소 환경은 이전 세대보다 100배 청결해졌습니다.

최소 환경은 눈에 띠게 청결해지는 동안에 입자 상황을 실시간으로 지속적으로 모니터하는 것이 필수적입니다:

비록 깨끗한 최소 환경을 만드는 것은 가능하지만 계속 유지하는 것은 불가능합니다. 시간이 지남에 따라 봉합제는 효능이 떨어지고 로봇 팔은 닳기 시작합니다. FOUP 슬롯은 맞지 않아 웨이퍼 파손을 일으킵니다. 상황이 처음 발생할 때 실시간 입자모니터만이 경보를 보낼 수 있습니다.
최소 환경가 대개 청결한 동안에 발생한 입자 상황이 제품에 밀접하여 제품 손상 잠재력을 증가시킵니다.
과거의 크린룸에서 보다 입자 감지가 더 어려울 수 있습니다. 최소 환경 상황은 흔히 공간에 위치하고 단기간입니다. 입자들은 불규칙적인 테스트 웨이퍼 현장 점검 – 또는 심지어 단일 위치 모니터에 의해서는 감지되지 않고 제품에 영향을 줄 수 있습니다.
보다 많은 칩이 단일 웨이퍼에 들어감에 따라 그리고 다중 웨이퍼가 단일 FOUP에 들어감에 따라 입자 상황을 높이는 대가는 점점 커지고 있습니다.

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