설비 모니터링 소프트웨어 Facilty Net

어플리케이션

• 설비 환경 모니터링
• 필터 테스트
• 크린룸의 표준 준수 여부 모니터링
• UPW및 화학물질 분배 시스템 모니터링

기능 설명

센서 상태 화면
Facility Net 프로그램은 사용자가 각 시료점, 그룹 또는 그 결합에 대하여 실시간으로 현재의 입자 계수를 표시할 수 있게 하는 다중 센서 상태 화면을 제공합니다. 경보 수준의 사태가 발생한 경우 그 시료점 또는 그룹에 대한 색 상태가 그 새 조건을 반영하기 위해 변경될 것입니다. 레이저 출력, 흐름 및 통신과 같은 센서 문제도 상태 화면의 색에 반영됩니다.

설비 맵
시스템 내에 구성된 모니터링 장치를 나타내기 위해 맞춤식 맵을 만들 수 있습니다. 선택한 시료점에 대한 상태 조건과 현재값이 화면에 표시되고 실시간으로 업데이트됩니다. 작업자는 Facility Net가 데이터를 수집하는 동안 모니터링 장비를 추가하거나 교체할 수 있습니다. 설비 내의 특정 지점을 확대 보기로 표시하기 위해 다중 맵을 만들어 조직화할 수 있습니다.

타임 플롯: 실시간 및 SPC
각 도표에 최대 10가지 색으로 코드화된 펜을 사용하여 실시간 데이터 또는 복구된 데이터를 도표로 표시할 수 있습니다. 작업자는 입자 및 환경 시료점, 경보 및 경고 한계, 계기 상태 레벨을 선택하여 직선 또는 로그 눈금으로 표시된 타임 플롯에 선택한 펜으로 나타나게 할 수 있습니다. 여러 다중 타임 프롯이 동시에 화면에 표시될 수 있으며 추후의 데이터 분석을 위해 저장될 수 있습니다.

일지
각 시료점에 대한 상세한 통계적 정보가 실시간으로 표 표시 화면에 제공됩니다. 단 하나의 화면에서 작업자는 장비의 이름, 상태 조건, 현재값, 샘플의 갯수, 최소, 최고 및 평균, 그리고 선택한 시료점에 대한 표준 편차를 볼 수 있습니다. 일지 표시 화면을 통해 작업자는 동일한 포맷의 복구 샘플점을 검토할 수 있습니다.

이벤트 로그와 자동화된 작업
경보 및 경고 조건, 통신 오류, 장비 상태, 구성 이벤트 및 작업자 동작과 같은 감사 추적 레지스터 시스템의 활동 작업자는 그러한 이벤트를 검토하여 사용자 입력란에 그 이유를 기입할 수 있습니다.

작업 생성기를 이용하여 사용자는 자동화된 작업을 계획할 수 있습니다. Facility Net은 사용자가 없는 경우에도 인쇄 형태 및 전자식 보고서 작성, 데이터베이스의 백업 생성, 외부 프로그램의 작동 등을 할 수 있습니다.

경보 및 호출
Facility Net을 이용하여 작업자는 사전에 설정된 한계(매개변수)를 초과할 경우 청각적이거나 시각적인 주의 신호를 보내는 경보를 설정할 수 있습니다. Facility Net에는 4가지 경보 레벨이 있어, 매개변수의 조건에서 벗어나는 레벨에 따라 점점 더 긴급한 경보 신호를 보냅니다. 경보 상태 정보를 상태 표시, 표 표시 및 이벤트 로그에 전송할 수 있습니다. 경보의 우선 순위를 설정하여 비교적 덜 중요하지 않은 경보를 무시하고 더 중요한 경보 신호를 보낼 수 있습니다. 경보가 촉발될 때 선택적인 호출기 기능이 활성화될 수 있습니다.

네트워킹 및 데이터 배포
Facility Net 네트워크 옵션은 강력한 싯시간 네트워킹 능력을 가지고 있습니다. 장비에 연결된 Facility Net 시스템은 이더넷 연결을 통해 현재 장비에 연결되어 있지 않은 다른 Facility Net 시스템에 데이터를 실시간으로 전송할 수 있습니다. 네트워크 스테이션은 터미날 서버를 지원하므로, 다수의 사용자가 동시에 어떤 한 응용 프로그램에 접속하여 작동시킬 수 있습니다.

실시간 네트워킹을 통해 사무실 설비로 데이터를 검토하고 분석할 수 있습니다. 중앙 파일 서버를 통해, 실시간 스테이션에서 보고받은 어떤 결합된 장비에서 나온 데이터를 표시하도록 사무실 네트워크 스테이션을 구성할 수 있습니다.