±ÍÇÏÀÇ Á¦Ç°ÀÌ ºñ¿ëÀÌ ¸¹ÀÌ µå´Â ¿À¿° ÇÇÇØ·ÎºÎÅÍ º¸È£µÇ°í ¿À¿° ¸ð´ÏÅͷκÎÅÍ È®½ÇÇÑ °á°ú¸¦ ¹Þ°í ÀÖ´Ù°í È®½ÅÇմϱî? ÇÇÇØ¿Í °¡µ¿ÁßÁö ½Ã°£À» Áö¼ÓÀûÀÌ°í ½Å·ÚÇÒ ¼ö ÀÖ°í Á¤È®ÇÑ ¸ð´ÏÅ͸µÀ¸·Î ½±°Ô ¿¹¹æÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ºÐÀÚ ¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µÀÇ ÃÖ±ÙÀÇ ¹ßÀü¿¡ °üÇÏ¿© ¾Æ·¡¸¦ ÀÐ°í ¹è¿ì½Ê½Ã¿À.

ÁÖÁ¦

  • ºÐÀÚ ¿À¿° ¸ð´ÏÅÍ
    • AirSentry II AMC ¸ð´ÏÅÍ
    • Ç¥¸é ºÐÀÚ ¿À¿° (SMC) ¸ð´ÏÅÍ: AiM-200
  • À¥Ä³½ºÆ®: ITRS ·Îµå¸Ê
  • ¹é¼­: ¼®ÆÇ¼úÀ» À§ÇÑ ÃÖÀûÈ­µÈ AMC ¸ð´ÏÅ͸µ
  • °ð ´Ù°¡¿À´Â ÇÁ¸®Á¨Å×À̼Ç:
    • ¸¶½ºÅ© ÇìÀÌ¡À» ¹æÁöÇϱâ À§ÇÑ Áö¼ÓÀûÀÎ ºÐÀÚ ¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µ
    • 1Á¶ºÐÀÇ 1 AMC °¨Áö
  • ½Ã½ºÅÛ Áö¿ø
  • ÇöÀå Á¶»ç Å×½ºÆÃ ¼­ºñ½º
  • ÀÚÁÖ ¹¯´Â Áú¹®
ºÐÀÚ ¿À¿° ¸ð´ÏÅÍ
AirSentry II AMC ¸ð´ÏÅÍ
AirSentry II´Â 70ppt±îÁöÀÇ °¨Áö ÇѰ踦 °®Àº Àúºñ¿ë Áö¼ÓÀûÀÎAMC ¸ð´ÏÅÍÀÔ´Ï´Ù. ½Ç½Ã°£ ºÐ¼®±â¿¡¼­ µ¿±Þ ÃÖ°í °¨Áö ÇѰè´Â °¡Àå Áß¿äÇÑ Å©¸° ȯ°æ¿¡¼­ ÇÊ¿äÇÑ ´Ü±â°£ ¹ß»ý ¸ð´ÏÅ͸µ°ú Àå±â°£ AMC Æ®·»µå¸¦ °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÕ´Ï´Ù. °è¼Ó ¹è¿ì½Ê½Ã¿À...

Ç¥¸é ºÐÀÚ ¿À¿° (SMC) ¸ð´ÏÅÍ: AiM-200
Ç¥¸é À½Çâ ÆÄµ¿(SAW) ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ºÐÀÚ ¿À¿° ¸ð´ÏÅÍ. °íÁÖÆÄ, ¿Âµµ Á¦¾î SAW ¼¾¼­°¡ À¯±â ¹× ¹«±â ¿À¿°À¸·Î ÀÎÇÑ Áß¿äÇÑ Ç¥¸é¿¡ Áú·®ÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ º¯È­¸¦ °¨ÁöÇÕ´Ï´Ù. °è¼Ó ¹è¿ì½Ê½Ã¿À...

À¥Ä³½ºÆ®: ITRS ·Îµå¸Ê

Particle Measuring SystemsÀº ITRS ·Îµå¸Ê¿¡ °üÇÏ¿© À¥Ä³½ºÆ®¸¦ Áö¿øÇÕ´Ï´Ù. ³ìÈ­µÈ ¹öÀüÀÌ, http://www.semiconductor.net/webcastsDetail/2140132136.html¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.

¹é¼­

ÀúÈñÀÇ Àü¹®°¡µéÀÌ ÀÛ¼ºÇÑ ¹®¼­ÀÇ ÀúÈñÀÇ ¿Â¶óÀÎ µµ¼­°üÀº ¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µ¿¡ °üÇÏ¿© ¹è¿ï ¼ö ÀÖ´Â ºü¸¥ ¹æ¹ýÀ̰í 24½Ã°£ ÀÌ¿ë °¡´ÉÇÔÀ¸·Î ³Î¸® ÀÌ¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ±ÍÇÏÀÇ ¿ëµµ¸¦ À§ÇÑ Áö¿øÀ» ã±â À§ÇØ ¾î´À ¶§¶óµµ °ËÅäÇϽʽÿÀ.

¼®ÆÇ¼úÀ» À§ÇÑ ÃÖÀûÈ­µÈ AMC ¸ð´ÏÅ͸µ
À̿ À̵¿ ½ºÆåÆ®·Î½ºÄÚÇÇ(IMS)¿¡ ±â¹ÝÇÑ, ºÐÀÚ ¿À¿° Àü¿ë ¸ð´ÏÅͰ¡ Àå±â°£ Æò±ÕÀ¸·Î ppt ¼öÁØÀÇ °æÇâ Á¦°øÀº ¹°·Ð ½Ç½Ã°£À¸·Î NH3 ¹× SO2 ¿À¿° ¹ß»ýÀ» °¨ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. º¸´Ù ... ´õ ÇнÀÇϽʽÿÀ...

ÇÁ¸®Á¨Å×À̼Ç

ÀúÈñÀÇ °ð ´Ù°¡¿À´Â ºÐÀÚ ÇÁ¸®Á¨Å×À̼ÇÀº ´ÙÀ½À» Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù:

¸¶½ºÅ© ÇìÀÌ¡À» ¹æÁöÇϱâ À§ÇÑ Áö¼ÓÀûÀÎ ºÐÀÚ ¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µ
¼®ÆÇ¼ú¿¡¼­ ºÐÀÚ ¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µ¿¡ ´ëÇÑ »õ·Î¿î Á¢±ÙÀÌ Á¦½ÃµË´Ï´Ù. ÃÖ±ÙÀÇ ±â¼ú ¹ßÀüÀº »ùÇà Ʃºù È¿°ú¸¦ ÃÖ¼ÒÈ­ Çϸ鼭 °¨µµ¿Í ¾ÈÁ¤¼ºÀÇ Áß´ëÇÑ ¹ßÀüÀ¸·Î Áö¼ÓÀûÀÎ ½Ç½Ã°£ ¸ð´ÏÅ͸µ ¼öÇàÀÇ °¡´É¼ºÀ» ¿­¿© Áá½À´Ï´Ù. Particle Measuring SystemsÀÇ Dan Rodier°¡ 4¿ù 18ÀÏ ±Ý¿äÀÏ¿¡ Photomask Japan 2008¿¡¼­ ÀÌ ³í¹®À» ÇÁ¸®Á¨Å×À̼ÇÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù.

1Á¶ºÐÀÇ 1 AMC °¨Áö
»õ·Î¿î À̿ À̵¿ ½ºÆåÆ®·Î¹ÌÅͰ¡ 1Á¶ºÐÀÇ 1 ¿À¿°¿¡¼­ ½Ç½Ã°£ ¸ð´ÏÅ͸µ, ³ëÃâ µµ±¸, ¿¡¾î Çڵ鷯, ±×¸®°í ÀÌ·¯ÇÑ Áß¿äÇÑ »ç¿ë½ÃÁ¡ À§Ä¡¿¡¼­ Å©¸°·ëÀ» Á¦°øÇÏ´Â ¼º´É°ú ÇÔ²² ¹ß¸ÅµÇ¾ú½À´Ï´Ù. Particle Measuring SystemsÀÇ Steven Rowley°¡ Advanced Lithography¿¡¼­ ÇÁ¸®Á¨Å×À̼ÇÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù.
ÀÌ ÇÁ¸®Á¨ÅÙÀ̼ǿ¡ Âü°¡ÇÒ °èȹÀ» Çϰí ÀúÈñÀÇ Booth 206À» ¹æ¹®ÇϽʽÿÀ.

ÀÚÁÖ ¹¯´Â Áú¹®

ÀúÈñÀÇ Àü¹®°¡µéÀº °í°´ÀÇ Áú¹®¿¡ ´ë´äÀ» µå¸³´Ï´Ù. Áú¹®À» º¸³»½Ã¸é Àü¹®°¡°¡ Á÷Á¢ °í°´¿¡°Ô ÀÀ´äÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ±ÍÇÏÀÇ ¿ëµµ¿¡ µû¶ó Áú¹® ¹× ´ë´ä ¶óÀ̺귯¸®¸¦ ÀÐÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

Áú¹®ÀÌ Àְųª Á¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ °ßÀû°ú Áö¿øÀÌ ÇÊ¿äÇÏ¸é ¿¬¶ôÇϽʽÿÀ.

Ed Terrell
Particle Measuring Systems
(303) 944-9293
eterrell@pmeasuring.com

-----------------------------------------

±ÍÇÏ´Â ÇöÀç "ºÐÀÚ" ´º½º·¹Å͸¦ ¼ö½ÅÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù, ´Ù¸¥ ƯÁ¤ ¸ð´ÏÅ͸µ ´º½º·¹ÅÍ(ÀϹÝ, °øÁß, ¶Ç´Â Á¦¾à¿ë)¸¦ ¹Þ°í ½ÍÀ¸¸é ¿Â¶óÀÎÀ¸·Î ½ÅûÇϽʽÿÀ.

-----------------------------------------

Particle Measuring SystemsÀº ¹Ì¼¼¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µ¿¡ À־ ¼¼°èÀûÀÎ ¼±µÎÁÖÀڷμ­ Áö³­ 35³â°£ ÀÔÀÚ °è¼ö±âÀÇ °è¹ß°ú »ý»ê¿¡ Èû½á¿Ô½À´Ï´Ù.

-----------------------------------------