Particle Meauring Systems Liquid Newsletter: March 2008

ÀÔÀÚ °è¼ö±â¸¦ ¼±ÅÃÇϴµ¥ È®½ÅÀÌ ¾ø½À´Ï±î? ¾Æ´Ï¸é, ÀÔÀÚ °è¼ö±â¸¦ º¸À¯Çϰí ÀÖÀ¸³ª °á°ú¸¦ Á¤È®ÇÏ°Ô ºÐ¼®ÇÏ°Ô ÇØÁÖ´Â ¹ÏÀ» ¼ö ÀÖ´Â µ¥ÀÌÅ͸¦ Á¦°øÇϰí ÀÖ´ÂÁö È®½ÅÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. µµ¿òÀÌ µÇ´Â Ãֽо×ü ÀÔÀÚ °è¼ö Á¤º¸¿Í Á¦Ç°¿¡ °üÇÏ¿© °è¼Ó ÀÐÀ¸½Ê½Ã¿À.

ÁÖÁ¦

¹é¼­

ÀúÈñÀÇ »ç³» Àü¹®°¡°¡ ÀÛ¼ºÇÑ ¹é¼­ÀÇ ¿Â¶óÀÎ ¶óÀ̺귯¸®´Â ÀÔÀÚ °è¼ö¿¡ °üÇÏ¿© ºü¸£°Ô ¹è¿ï ¼ö ÀÖ°í ¾ðÁ¦µç À̿밡´ÉÇϱ⠶§¹®¿¡ ¸Å¿ì ÀαⰡ ÀÖ½À´Ï´Ù. ±ÍÇÏÀÇ ¿ëµµ¿¡ µµ¿òÀÌ µÇ´ÂÁö °ËÅäÇØº¸½Ê½Ã¿À. ÀúÈñ ÃÖ±Ù ¹é¼­´Â ´ÙÀ½°ú °°½À´Ï´Ù:

¸¶ÀÌÅ©·ÎÀüÀÚ¿ë ¿ïÆ®¶ó ¼øµµ ¹° ÀÔÀÚ ¸ð´ÏÅ͸µ
ÀÌ ÇÁ¸®Á¨Å×À̼ÇÀº ¿Ö ÀÔÀÚ ¸ð´ÏÅ͸µÀÇ Á߿伺, ÀÔÀÚ °è¼ö±â ¼±Åùæ¹ý ¹× ÀÔÀÚ °è¼ö±â¿¡ ÀÇÇØ Á¦°øµÈ µ¥ÀÌÅ͸¦ ºÐ¼®ÇÏ´Â ¹æ¹ý¿¡ °üÇÏ¿© ³íÇÕ´Ï´Ù. ´õ ¸¹ÀÌ ÇнÀÇϽʽÿÀ...
ÀÔÀÚ °è¼ö¿¡ °üÇÑ ±âº» °¡À̵å: ¾÷µ¥ÀÌÆ® ¹®¼­!
ÀúÈñ´Â ÃÖ±Ù¿¡ ÀÔÀÚ ¿À¿°ÀÇ °³¿ä¸¦ ¾÷µ¥ÀÌÆ®Çß½À´Ï´Ù. À̰ÍÀº ¿À¿°¿ø°ú À̿밡´ÉÇÑ ¸ð´ÏÅ͸µ ±â¼ú¿¡ °üÇÏ¿© ³íÇÏ´Â °ÍÀ» ½ÃÀÛÀ¸·Î ´Ù¾çÇÑ ¹®Á¦¿¡·Î °è¼ÓµË´Ï´Ù... ¸Å¿ì Àαâ ÀÖ´Â ÀÌ ³í¹®À» Áö±Ý ´Ù¿î·ÎµåÇϽʽÿÀ!
Ã¥: ¾×ü ÀÔÀÚ °è¼ö±â ÀÌÇØ
ÀÌ Ã¥Àº ÀÔÀÚ °è¼ö±â°¡ ¹«¾ùÀ» ÇÏ°í µ¥ÀÌÅ͸¦ ¾î¶»°Ô ºÐ¼®ÇÏ´ÂÁö¸¦ ÀÌÇØÇϴµ¥ µµ¿òÀÌ µË´Ï´Ù. Á¦½ÃµÈ °³³äÀÇ ÀÌÇØ¸¦ ½±°Ô ÇÏ´Â ¸¹Àº »õ·Î¿î ±×·¡ÇÁ¿Í ±×¸²À¸·Î ÀÌ·ïÁ³½À´Ï´Ù. ÀÌ °¡À̵带 ¿À´Ã
±¸ÀÔÇϽʽÿÀ!
Ã¥: Handbook of Silicon Wafer and Cleaning Technology
ÀÌ Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology Á¦2ÆÇÀº IC Á¦Á¶¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ½À, ÇöóÁ ¹× ±âŸ Ç¥¸é Á¶°Ç ±â¼ú¿¡ °üÇÑ ÃÊ´ëµÈ ³í¹® ¸ðÀ½ÀÔ´Ï´Ù. ¼¼Ã´ °øÁ¤À» Àåºñ Á¦Á¶ Ç÷οì¿Í ÅëÇÕÀ» ¿­, ÀÓÇöõÆ®, ¿¡Äª ¹× ±¤³ë±¤ °øÁ¤ °°Àº ±âŸ Á¦Á¶ ´Ü°è¿¡ °üÇÏ¿© Á¦½ÃÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ Àåµé Áß ÇϳªÀÎ, "ÀÔÀÚ ¿À¿°¹°ÁúÀÇ °¨Áö ¹× ÃøÁ¤"Àº Particle Measuring SystemsÀÇ Ed Terrell¿¡ ÀÇÇØ °øµ¿ Àú¼úµÇ¾ú½À´Ï´Ù.

º¸´Ù ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀ̳ª ±¸ÀÔÀ» ¿øÇϸé http://www.williamandrew.com/title.php?id=20À» ¹æ¹®ÇϽʽÿÀ.

À¥Ä³½ºÆ®: ITRS ·Îµå¸Ê

Particle Measuring SystemsÀº ITRS ·Îµå¸Ê¿¡ °üÇÏ¿© À¥Ä³½ºÆ®¸¦ Áö¿øÇÕ´Ï´Ù. ³ìÈ­µÈ ¹öÀüÀÌ, http://www.semiconductor.net/webcastsDetail/2140132136.html¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.

Á¦Ç° Á¤º¸

Ultra DI 50 ÀÔÀÚ °è¼ö±â
ÀÌ ÀÔÀÚ °è¼ö±â´Â ITRS ·Îµå¸Ê ¿ä±¸Á¶°ÇÀ» ÃæÁ·ÇÕ´Ï´Ù. À̰ÍÀº DI ¿öÅ͸¦ 50³ª³ë±îÁö °è¼öÇÏ°í »ùÇ÷®ÀÌ 3.75 ml/ºÐÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ Á¦Ç°¿¡ °üÇÏ¿© Áö±Ý º¸´Ù ´õ ÇнÀÇϰųª ºñ½ÁÇÑ ÀÔÀÚ °è¼ö±â¿Í ºñ±³ÇϽʽÿÀ.

APSS 200 ÁÖÀÔ°¡´É¹°Áú¿ë ÀÔÀÚ °è¼ö±â
ÀÌ ÀÔÀÚ °è¼ö±â´Â ÁÖÀÔ°¡´É¹°ÁúÀ» Å×½ºÆ®Çϱâ À§ÇØ »ç¿ëµÇ°í 788, EP ¹× JP ±âÁØÀ» ÃæÁ·ÇÕ´Ï´Ù. °è¼Ó ´õ ÇнÀÇϽʽÿÀ...

»õ·Î¿î Å×À̺íž ºÎǰ û°áµµ Å×½ºÆÃ ½ºÅ×À̼Ç
Surfex 100M Å×À̺íž ¸ð´ÏÅÍ´Â ºÎǰ û°áµµ¸¦ ¸ð´ÏÅ͸µÇϰí Áõ¸íÇÏ´Â ÄÞÆÑÆ®Çϰí, ÅëÇÕµÈ ÀÔÀÚ ÃßÃ⠽ýºÅÛÀÔ´Ï´Ù. ÃÊÀ½ÆÄ ÃßÃâ, ÀÔÀÚ ÃøÁ¤ ¹× °í¼øµµ À¯Ã¼°øÇÐÀ» °áÇÕÇÏ¿©, Surfex 100MÀº 󸮷®À» Àç·¡ ¹æ½Ä¿¡ ºñÇØ 10¹è±îÁö Áõ°¡½ÃÄÑ ½Ã°£°ú ºñ¿ëÀ» ÁÙ¿© ÁÝ´Ï´Ù. º¸´Ù ´õ ÇнÀÇϽʽÿÀ...

Lasair II 110 °ø±â ÀÔÀÚ °è¼ö±â
ÀÌ 1.0 CFM Àåºñ´Â ¿À´Ã³¯ À̿밡´ÉÇÑ °¡Àå Á¾ÇÕÀûÀÎ ±â´É ¸ðÀ½À» Á¦°øÇϸ鼭 ÀÔÀÚ¸¦ 0.1 µm±îÁö °è¼öÇÕ´Ï´Ù. À̰ÍÀº ¹«½ÖÇÑ Á¤È®µµ, ÀÛµ¿ ºñ¿ë Àý°¨ ¹× ½Å·Úµµ¿Í ¼ö¸íÀ¸·Î 3³â°£ÀÇ ·¹ÀÌÀú º¸ÁõÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. º¸´Ù ´õ ÇнÀÇϽʽÿÀ...

ÀÚÁÖ ¹¯´Â Áú¹®

ÀúÈñÀÇ Àü¹®°¡µéÀº °í°´ÀÇ Áú¹®¿¡ ´ë´äÀ» µå¸³´Ï´Ù. Áú¹®À» º¸³»½Ã¸é Àü¹®°¡°¡ Á÷Á¢ °í°´¿¡°Ô ÀÀ´äÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ±ÍÇÏÀÇ ¿ëµµ¿¡ µû¶ó Áú¹® ¹× ´ë´ä ¶óÀ̺귯¸®¸¦ ÀÐÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

ÃÖ±Ù Áú¹®: ¸î °¡Áö ÀüÇüÀûÀÎ ÀÔÀÚ ºÐÆ÷´Â ¾î¶»½À´Ï±î?
ÀúÈñÀÇ À¥»çÀÌÆ®¿¡ ´ë´äÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.

Áú¹®ÀÌ Àְųª Á¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ °ßÀû°ú Áö¿øÀÌ ÇÊ¿äÇÏ¸é ¿¬¶ôÇϽʽÿÀ.

Kenichi Takashima
Particle Measuring Systems, Tokyo
813-5298-8175
ktakashima@jp-pmeasuring.com

-----------------------------------------

±ÍÇÏ´Â ÇöÀç "¾×ü" ´º½º·¹Å͸¦ ¼ö½ÅÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù, ´Ù¸¥ ƯÁ¤ ¸ð´ÏÅ͸µ ´º½º·¹ÅÍ(ÀϹÝ, °øÁß, ºÐÀÚ, ¶Ç´Â Á¦¾à¿ë)¸¦ ¹Þ°í ½ÍÀ¸¸é ¿Â¶óÀÎÀ¸·Î ½ÅûÇϽʽÿÀ.

-----------------------------------------

Particle Measuring SystemsÀº ¹Ì¼¼¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µ¿¡ À־ ¼¼°èÀûÀÎ ¼±µÎÁÖÀڷμ­ Áö³­ 35³â°£ ÀÔÀÚ °è¼ö±âÀÇ °è¹ß°ú »ý»ê¿¡ Èû½á¿Ô½À´Ï´Ù.

-----------------------------------------