液中パーティクルカウンタ資料

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Understanding Liquid Particle Counters

Learn what they do count and what the data really means. Complete with many new graphs and figures to facilitate and understanding of the concepts presented.

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マイクロエレクトロニクスにおける超純水の微粒子モニタリング (633.4 KB)

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液中微粒子測定について考える (234.4 KB)

本資料では、液中微粒子測定に関する数々の基本的な事柄についてご紹介いたします。実際にパーティクルカウンタを使用している企業を例として取り上げ、他の作業エリアへどのように応用できるか、その方法をご紹介いたします。さらに、光学パーティクルカウンタ（OPC）の利点、試料量と感度についても触れています。

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校正用標準液を用いてLiQuilazパーティクルカウンタの動作確認を行う (540.4 KB)

容積測定光学パーティクルカウンタ（OPC）の動作確認をすることは多くのアプリケーションで必要です。本資料では、LiQuilaz®-SまたはEタイプOPCの動作確認に用いる校正用標準液の正しい利用方法について説明しています。以下では、LiQuilaz-SまたはEタイプの容積測定スペクトロメーターとシリンジサンプラーを使用したSamplerSightソフトウェアへのデータ収集方法を説明しています。

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粒経測定の正確性計算機

PSLの平均粒経と分解能を入力してください。LiQuilazパーティクルカウンタにおける相対的粒径誤差をプログラムが計算します。

「液中微粒子測定に関する原理の要約」 (648.2 KB)

本概要では、液中の微粒子サイズと濃度に関する容積測定と定位置測定のテクニックを紹介しています。数種類のセンサーの光学デザインに関する基本物理学にも触れています。これらの原理は世界共通であり、あらゆるメーカーの光学パーティクルカウンタの測定技術の比較にも用いることが可能です。

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微粒子測定に使用される一般的な用語 (612.1 KB)

本資料では、「分画」「感度」「基準値」など、微粒子測定で使用される最も一般的な用語を紹介しています。

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「CLS-700Tを使用した、Buffered Oxide Etch の連続微粒子モニタリング」 (577.2 KB)

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「液中の超微粒気泡の生成、検出、除去を左右する要因」2004年 (309.0 KB)

2004年SPWCC会議で発表

「注射剤薬液の微粒子測定」 (244.3 KB)

本資料では、米国(USP)、ヨーロッパ（EP）、日本（JP）の薬局方により定められた規格と、USP 788 （2007年4月）、EP5.1、JP15の最新の更新情報も掲載されています。これらの規格では、注射剤薬液中の超微粒子、特に非溶解微粒子を効果的に監視することを要求しています。

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「医療機器構成部品の清浄度を検証する検査技術」 (724.8 KB)

『Medical Devices Magazine』2006年8月号に掲載

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LiQuilaz-Sタイプのパーティクルカウンタにおける粒経測定の正確性 (586.8 KB)

多くの機器では、光学パーティクルカウンタ(OPC)の容積測定の性能を確認する必要性があります。本資料では、サイズ測定の精度を計算することにより、Particle Measuring Systems社のOPC LiQuilaz-Sシリーズの性能を確認する正しい方法について説明しています。この方法では、分割データを正確に収集し、機器の解像度を正確に把握している必要があります。サイズ測定計算ツールは、Particle Measuring Systems社のウェブサイトでも提供しています。

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Particle Distribution Calculator for Liquid Particle Counters (111.0 KB)

Simplified Performance Calculator for Liquid Particle Counters (22.0 KB)

Performance Calculator for Liquid Particle Counters (30.5 KB)

PSL平均サイズと分解能を入力プログラムは、LiQuilazの相対的粒径エラーを計測します。

「LiQuilaz SO5 パーティクルカウンタ熱試験」 (824.7 KB)

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プロセス薬品の微粒子モニタリング (411.8 KB)

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「300 mm FabのUPWの新しい微粒子モニタリング戦略」 (249.6 KB)

2005年SPWCC会議で発表

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