FAQ - 気中微粒子

クリーンルームモニタリング用Lasair IIパーティクルカウンタ

質問 クリーンルームが認証する相対湿度、絶対湿度、温度？

回答

微粒子の清浄度に対してクリーンルームが認証を受ける場合、クリーンルームの温度と湿度は、クリーンルームにおける通常稼動時の規格範囲になっていなければなりません。クリーンルームにおける稼動時の規格は産業により大きく異なります。例えば、半導体産業のクリーンルームにおける温度と湿度は、宇宙航空産業のクリーンルームより厳しく管理されています。

クリーンルーム用のパーティクルカウンタに関する詳細は、クリーンルームのISO認定に適合する気中パーティクルカウンタ選びをご覧下さい。

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