分子汚染
Particle Measuring Systemsの分子分野は、気中および表面分子汚染(AMCおよびSMC)のモニタリングに取り組んでいます。弊社は半導体産業のリアルタイム モニタリングのパイオニアとして、汚染物質の定量化、汚染源やトレンド、トラブルシューティング問題の特定を実現するリソースおよびエキスパートを用意いたしております。また、お客様のニーズに応じた分子サービスの統合製品をご提供いたします。
現場調査
- 大気の酸分析
- 大気のアンモニアおよびアミン分析
- 大気の有機化合物分析(炭化水素、シロキサン、NMPなど)
- 表面凝結物および微量金属分析
プロセス特性
- リアルタイムのAMCモニタリング
- リアルタイムのSMCモニタリング
- 処理ガス、CDA、またはフィルタ効率モニタリング
- FOUP、レチクル ポッドなどのアウトガス試験
トラブルシューティング
- エキスパートによるトラブルシューティングで問題を迅速に徹底的に特定
- 汚染物質およびイベント(汚染源)を特定
- AMCおよびSMC濃度を位置と時間で定量化
- 化学薬品フィルタの事後分析
製品バリデーション
- アナライザの精度および機能の信頼性を検証し保証
- サービスを行う前に、試験方法と技術をお客様にご説明し、同意をいただきます。
弊社のサービスに関する詳細については、以下までお問合せください:
Aaron Shupp
ashupp@pmeasuring.com
電話: (303) 443-7100 ext. 454
フリーダイヤル: (800) 238-1801
個人情報について
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