マイクロ高圧レーザー パーティクル カウンタ101 HP

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利点

• 高圧ガス供給システムのスピード基準適合
• 歩留まりに影響が出る前に微粒子検出
• 測定センサーおよびデータシステムを組み込んだシステム
• スペック実証
• プロセス上の異常を探知
• システム変化による影響を定量化
• 正確な微粒子サイジング
• 総合的データ保存、管理、レポート、アラーム用のFacility Net（工場診断）データ管理に対応
• パッシブキャビティ設計でメンテナンスを削減
• 他のシステムと異なり、モニタリング用液不要のマイクロLPC-101 HP
• ライン圧で不活性加圧ガスを測定
• プロセス制御の向上
• 高い信頼性

用途

• ガス供給システム基準適合
• 処理ガスのモニタリング

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レーザー微粒子測定器: マイクロ高圧レーザー微粒子測定器、機種LPC 101-HPは、ガスを雰囲気圧まで加圧する従来のシステムに代わり、ライン圧で不活性ガスを測定。

マイクロLPC 101-HP には測定センサーおよびデータシステムが組み込まれています。8つのサイズチャンネルを用意し、吸引量0.1 SCFM、ライン加圧40〜150 psigで、最小0.1µm からの測定が可能です。

マイクロLPC 101-HPは5インチのCRTおよび数字キーパッドを利用。最大サンプル数50のデータをシステム内に保存します。