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AirSentry II® モバイル式気中分子汚染検出システム

AirSentry II モバイル式気中分子汚染検出システムは、クリーンルームにおける気中分子汚染(AMC)を迅速かつ効率良くモニターする業界初の移動式システムです。システムの機動性により、クリーンルーム内のあらゆる場所において汚染源ポイントを正確にキャッチし、計測します。

移動式カートに内蔵されたPCのタッチスクリーン式画面には、各モニタリングポイントにおける汚染レベルが即座に表示されます。また、Facility Netソフトウェアの使用によりデータをリアルタイムにブロードキャストするだけでなく、データの保存、グラフ化、レポート作成することができます。 ケミカルフィルターでろ過処理されたクリーンドライエアー(CDA)バキュームと無停電電源装置が備わっており、アナライザーが一般的に抱えるウォームアップ時間の問題も無く、測定ポイントの変更にも即座に対応することが可能です。


利点

  • 迅速な問題追跡。クリーンルーム内の汚染源をすばやく検知。
  • カートにより移動が自由自在。ウォームアップ時間の削除。
  • 最大3台までのAirSentry IIアナライザーと統合使用が可能。タッチスクリーン式PCの大画面で汚染分布をリアルタイムに表示。
  • Facility Netソフトウェアを使用してデータのグラフ化や保存が可能。
Without Measurement There Is No Control
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