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一点集中型IMS分析: AirSentry II

パーティクル・メジャーリング・システムズ社の 新型気中分子状汚染(AMC)分析装置、 AirSentry IIは、現場で要求される「性能」を重視して設計されました。改善が加えられた新しいイオン・モビリティー分光技術(IMS)は、pptレベルの分解能、高速反応、高感度(リアルタイム70ppt)の分析を可能にしました。また、中央集中型のプラットフォーム・ソフトウェア(日本語対応版)により、Critical Monitoring(モニタリングを重要視される)点での継続的な詳細検出結果の一括制御、一括管理を実現しました。

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 Molecular Contamination Monitor: AirSentry II 
   

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利点

  • Critical Monitoring(モニタを重要視される)箇所の継続的なリアルタイム集中モニタ
  • 外部校正装置により、校正を統一化
  • 堅牢なデザイン、かつ信頼性の置けるデータ管理、データ制御及びデータ分析を実現
  • 稼動部を無くし、メンテナンス性を更に向上
  • 高速反応化、高感度化を追求

用途

  • 露光プロセス管理‐レンズのヘイズ管理
  • フォトマスク工程‐フォトマスクのヘイズ管理
  • レジスト・トラック工程‐T‐トッピングに起因する汚染発生、汚染制御管理
  • フォトマスク点検装置、保管庫‐保管庫内の汚染制御管理
  • クリーンルーム内の規定汚染濃度管理
  • メーキャップエア、循環エアの分析、制御

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