DI水レーザーパーティクルカウンタ: Ultra DI

Ultra DI微粒子測定器は超純水(DI)用に設計され、最小可測粒径0.03ミクロンの感度で、微粒子汚染物質を測定します。Ultra DIは全量測定、低ゼロカウント、高計測効率を誇り、抜群の性能を発揮します。

迅速な分析：
Ultra DIの全量測定で、有用統計データをすぐさま取得
素早いクリーンアップと素早い測定点移動能力で稼動時間を短縮
短い測定間隔で素早く微粒子分析
プロセスの改善:
全量測定と超低ゼロカウントレベルで意味ある統計データを増大して、低から中程度の浮遊物を検知
微粒子のリアルタイム測定で微粒子汚染に即座に対応
Facility Netソフトウェアでより洗練されたプロセス制御:英数字ページング、センサー・ステータス、表およびSPCチャート、タイムプロットと微粒子発現の履歴など
より厳しいプロセス制御限界の設定で、サンプル毎の変化を低く
感度向上でプロセス変化を迅速に検出: 0.03ミクロン
使いやすさ：
既存のネットワーク利用で、 Facility Netとのイーサネット通信
4～20mA通信でPLCおよびSCADAシステムに直接接続
オゾン水対応
2重HEPA濾過のステンレス外装で超DI液中パーティクルカウンタで使用

次の表は、指定容量の測定に必要な時間を左右する液中パーティクルカウンタ数機種の試料容量の差を示しています。偽計数が0.5個/mLの場合、40mLで検出できるのは通常20個です。

パーティクルカウンタ	容量	測定所要時間（1L）	測定所要時間（40mL）
Ultra DI50 DI水パーティクルカウンタ	3.75 mL/min	4.4時間	10.6分
HSLIS M50液中パーティクルカウンタ	0.25 mL/min	2.8日	2時間40分
他社の液中パーティクルカウンタ	0.1 mL/min	6.9日	6時間40分

このパーティクルカウンタはCE認定を受けています。

Ultra DI®はParticle Measuring Systemsの登録商標です。

米国特許取得および出願中－米国4798465; 日本2786187; ドイツ3712665C2; 米国特許出願中

測定あっての制御

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DI水レーザー パーティクル カウンタ: Ultra DI