液中光散乱式パーティクル カウンタ: HSLIS M50e
HSLIS e-シリーズ微粒子測定器は、超純水と処理用化学薬品中の微粒子汚染レベルを連続的にリアルタイムで監視します。高感度であり、しかも低コストであるため、センサーが多数必要な場合にぴったりです。超純水では、最小可測粒径0.05ミクロンの感度を誇ります。
HSLISe仕様書 (211.4 KB)
利点
- 連続的リアルタイムの微粒子モニタリングで微粒子発現に即座に対応
- 最高感度の微粒子測定器による検出で歩留まり向上
- 業界基準の微粒子測定器で区域毎の比較を簡素化
- 既存イーサネット・ネットワークで複数測定器の制御と監視にかかる全体コストを削減
- HSLIS設計の折り紙つきの信頼性で初期投資コストおよびメンテナンスを削減
用途
- UPWシステムの微粒子濃度を定量化
- 化学薬品供給システムの微粒子監視
- フィルター効率測定
- UPWシステム内の細菌繁殖検知
- 定期的微粒子発現の追跡と警報
- 連続的システム微粒子モニタリング
LS 50eシリンジ サンプラ搭載HSLIS M65eS仕様書 (262.5 KB)
「どのパーティクル カウンタが最適か？超純水（UPW）と超純液の測定」 (712.5 KB)
「HSLIS M-50 を使用した超純水システムのモニタリング」 (249.5 KB)
次の表は、数機種の液中パーティクル カウンタで見る、試料容量と指定容量測定の所要時間の差を示しています。偽計数が0.5個/mLの場合、40mLで検出できるのは通常20個です。
| パーティクル カウンタ | 容量 | 測定所要時間（1L） | 測定所要時間（40mL） |
|---|---|---|---|
| Ultra DI50 DI水パーティクル カウンタ | 3.75 mL/min | 4.4時間 | 10.6分 |
| HSLIS M50液中パーティクル カウンタ | 0.25 mL/min | 2.8日 | 2時間40分 |
| 他社の液中パーティクル カウンタ | 0.1 mL/min | 6.9日 | 6時間40分 |
HSLIS e-シリーズの、非全量液中微粒子モニターやとスペクトロメーターは、超純水と処理化学薬品のフィルター効率と微粒子汚染を計測します。HSLISシリーズのサイズ閾値は、超純水で0.05ミクロンから、処理化学薬品では0.065ミクロンから始まり、吸引量も毎分100mLから300mLと広範囲です。モニターにはサイズチャンネルが4つあり、リアルタイムの連続監視のための施設監視ソフトウェアパッケージ、Facility Netへの統合も簡単です。スペクトロメーターはサイズ閾値を１６揃え、厳しい規格が必要である研究と品質管理用にぴったりです。
このパーティクル カウンタはCE認定を受けています。
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