超クリーンな液体をモニタリングする際、最適な統計データ取得用の多種の液体微粒子測定システムにベンチマークする手法。
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オレンジ色でハイライトされている部分が 「アクティブセル」で、異なる微粒子測定パラメータおよび微粒子濃度を入力できるセルはここだけです。このデータを入力することで、性能計算機は監視を受ける液体毎にアラームレベルを設定し、3台の微粒子測定器毎の性能を提示します。
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