腐食性液中パーティクル カウンタ：CLS -1000
CLS-1000微粒子測定器はLiquistat全量微粒子測定器と一体化した加圧サンプラーで、最高90℃の液状化学薬品測定用です。漏れ検知やパージ用空気といった安全機能内蔵により、ウェットベンチと統合し危険溶剤や酸の取扱いにはぴったりのツールです。多機能と高い信頼を目指した設計で、カートに設置できるため、プロセス間の測定には、移動性を発揮します。加圧式サンプラーにより、発泡性、または高温薬品の気泡によって発生する不安定なデータ問題を排除します。CLS-1000は、処理化学薬品用微粒子測定の新SEMI C1基準に準拠します。
「測定への挑戦」 (360.0 KB)
- 短い測定サイクルで微粒子を素早く検出
- 大容量測定で厳密なプロセス制御およびデータのばらつき削減を実現
- 0.1ミクロンの感度で超級純度のプロセッシング
- 吸引量50 ml/分、全量100％測定で、プロセス認証を短縮
- データに基づくメンテナンス間隔の拡大
- 測定者が選択可能な容量で高価化学薬品を節約
- 加圧式測定により、発泡性薬品など大半の化学薬品を最高90°Cまで計測
- 工場内どこでも持ち運びが簡単
- 内部漏れ検知と漏れ防止
- 腐食防止のポリプロピレン外装
- 浄化エアーで、危険蒸気を外部へ排出
- ビジブル・ステータス・インジケーター
- ウエットプロセス微粒子モニタリング
- 液浴槽認証
- フォトレジストQAと微粒子モニタリング
- 化学薬品QA微粒子測定
- 一般製品用微粒子モニタリング
CLS 1000仕様書 (209.3 KB)
「加圧パーティクル カウンタによる移動型液中In Situ微粒子測定モニタリング」 (581.0 KB)
レーザー微粒子測定器:弊社は、0.1ミクロンの感度で処理化学薬品のバッチ測定用に、腐食性液体測定システム、CLS-1000をお届けします。 このシステムは、バッチサンプラー、液中微粒子センサー、データ収集とトレンド分析用のパソコンで構成されています。CLS-1000微粒子測定器は短い測定サイクルにより、微粒子異常が生じた際は、迅速なデータ収集を可能にします。
CLS-1000システムの全量測定により、さらに厳密なプロセス制御、データのばらつき回避、そして正確な粒径情報の把握が可能です。このシステムは多機能で、冷温から最高90°Cの測定、加圧サンプラーを使用する発泡性化学薬品や表面活性剤の気泡排除などを実現。 また、測定者はオーバーフロービュレットの吸引量を15mlまたは55mlのどちらかを選択することができ、高価な化学薬品測定の際は、高い費用効率が期待できます。
さらに、漏れ検出センサーや漏れ防止、他にもシステム不良を画面で知らせる警報表示など安全機能が内蔵されています。 外装表面は、材質にポリプロピレンを使っており、フッ化水素酸など大半の処理化学薬品に耐性があります。 浄化エアーは、完全に危険薬品を完全にケースから排出します。
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