超純水用　ﾊﾟｰﾃｨｸﾙｶｳﾝﾀｰ　Liquistat

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利点

• 時間当たりの微粒子計測数が他の液中微粒子測定器に比べ多い
• 全量測定により微粒子測定に高い信頼性
• 高吸引量および100％の全量測定でプロセス認定を短縮
• 高い測定精度でサンプルのばらつき抑制
• 廃棄量を削減:短い測定間隔で処理化学薬品に素早く反応
• 「非粘性ジェット（Inviscid Jet）」技術で高感度
• オプションのFacility Netソフトウェアで、データ収集と分析の簡素化
• 既存のイーサネット・ネットワークを利用し、プロセス監視ソフトウェア、Facility Netに接続
• 4〜20 mA通信でSCAD およびPLCs に簡単接続
• 卓上または壁面に簡単設置
• パワフルなFacility Netソフトウェアで、英数字ページング、データ保存と取得、タイムプロット、SPC表を活用
• 液漏れ検知装置内蔵で余裕のある安全性を提供、またポリプロピレン外装は化学的な耐性を持ち、大半の化学薬品に対して安全使用を実現しました。
• 簡単に使え安全

用途

• ウエットベンチのインライン微粒子監視
• ウエットベンチ認証
• 化学薬品製造、供給システムの微粒子監視
• 化学薬品フィルター微粒子検査
• 処理液槽の微粒子モニタリング
• ウエットエッチプロセス微粒子モニタリング

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レーザー微粒子測定器:Liquistatは、腐食性の処理化学薬品製造と供給に使用されるインライン微粒子監視器。 この全量微粒子センサーは、吸引量50 ml /分で試料を100%測定します。 また、他の液体粒子測定器に比べ、処理化学薬品中の単位時間あたりの微粒子数を多く計測。全量測定で、さらに短い測定間隔でも、精度の高い結果をお届けできます。測定間隔が短いため、より迅速な発現の通知や厳しいプロセス制御が可能になりました。全量測定で、しかも0.1ミクロンという感度により、これ以上にない清浄液体を効果的に計測できます。

弊社の特許取得技術、「Inviscid Jet （非粘性ジェット）」はユニークな光学設計で、フッ化水素酸など多くの処理化学薬品で感度0.1 ミクロンの超級高感度を誇ります。光学粒子測定器のバックグラウンドノイズ原因の一つが試料セル・ウィンドウのレーザー光拡散。Liquistatは、窓のないキャビティに試料を注入、この領域だけを測定することで、この制限を取り払いました。

Liquistat微粒子測定器は材質にポリプロピレンを使用、また24ボルトで作動しますが、これにより設置時、配管を不要にしました。センサー前面にパワーや動作状態を表示するステータス・インジケーターを配しています。 また、微粒子計測の2チャンネル、器具状態に1チャンネルと、3チャンネルの4〜20mA出力接続を装備しています。

データは、5つのサイズ範囲で収集されますが、 第1チャンネルは0.1から0.15ミクロンに調整可能。イーサネット接続により、データ収集、トラッキング、レポートといった幅広い微粒子モニタリング機能をまとめたソフトウェアパッケージ、Facility Netにつなげます。リアルタイムで取得されたデータは、タイムプロット、ヒストグラム、表形式、SPC表などを様々な形式でご利用になれます。

LiQuilaz®はParticle Measuring Systemsの登録商標です。

米国特許取得および出願中‐米国4798465; 日本2786187; ドイツ3712665C2; 米国5861950; 日本3335645; ドイツ69801825.7-08